[发明专利]电子束显微镜

权利要求书

1.一种电子束显微镜，包括：

电子束光学器件(11，19)，这些电子束光学器件被配置用于将聚焦电子束(13)引导到样品(23)上；

检测器(47)，该检测器被配置用于产生与从该样品(23)出射的、并入射在该检测器(47)上的反向散射电子相对应的检测信号(67)；以及

信号处理器(61)，该信号处理器具有输出端(95)，并且被配置用于处理由该检测器(47)产生的这些检测信号(67)并且基于对这些检测信号(67)的处理在其输出端(95)处产生信号；

其中，该检测器(47)是产生这些检测信号(67)的能量敏感检测器，使得相应的检测信号的强度随着对应的所检测的反向散射电子的动能而增大；

其中，该信号处理器(61)包括：模拟放大器(63)，该模拟放大器具有信号输入端(65)，该信号输入端连接至该检测器(47)的信号输出端(66)；窗口比较器(83)，该窗口比较器具有信号输入端(84)，该信号输入端连接至该模拟放大器(63)的输出端(79)，其中，在该信号处理器(61)的输出端(95)产生的信号是基于在该窗口比较器(83)的输出端(85)处提供的信号产生的；

其中，该模拟放大器(63)被配置用于在其输出端(79)处输出与提供给其信号输入端(65)的检测信号(67)相对应的放大信号(81)；

其中，该窗口比较器(83)被配置为只有提供给其信号输入端(84)的放大信号(81)小于或等于上限阈值且大于或等于下限阈值时，才在其输出端(85)处输出预定信号(90)。

2.如权利要求1所述的电子束显微镜，其中，该窗口比较器(83)具有用于将该上限阈值设定为可选值的上限阈值输入端(91)、以及用于将该下限阈值设定为可选值的下限阈值输入端(92)。

3.如权利要求1或2所述的电子束显微镜，其中，该信号处理器(61)进一步包括计数器(91)，该计数器具有信号输入端(92)，该信号输入端连接至该窗口比较器(83)的输出端(85)；

其中，该计数器(91)具有输出端(93)，并且被配置用于在其输出端(93)处产生表示随着提供给其信号输入端(92)的预定信号(90)的每次出现而增大的数的信号。

4.如权利要求3所述的电子束显微镜，其中，在该信号处理器的输出端处产生的信号是基于在该计数器的输入端处提供的信号产生的。

5.如权利要求3或4所述的电子束显微镜，其中，该信号处理器(61)具有复位输入端(94)，其中，该计数器(91)被配置为如果预定信号施加至其复位输入端(94)，则将在其输出端(95)处产生的信号重置为预定值。

6.如权利要求3至5之一所述的电子束显微镜，其中，在该计数器的输出端处产生的信号是数字信号。

7.如权利要求1至6之一所述的电子束显微镜，其中，该信号处理器(61a)进一步包括电阻(96)，该电阻将该窗口比较器(83a)的输出端(85a)连接至地面(97)。

8.如权利要求1至7之一所述的电子束显微镜，其中，在该模拟放大器的输出端处产生的信号是模拟信号。

9.如权利要求1至8之一所述的电子束显微镜，其中，该检测器是硅漂移二极管(SDD)、PIN二极管、肖特基二极管、以及雪崩二极管之一。

10.如权利要求1至9之一所述的电子束显微镜，进一步包括控制器，该控制器被配置用于控制电子光学器件，以便将该聚焦电子束引导至该样品上的多个不同的位置，用于将该聚焦电子束维持在该多个位置中的每一个位置处预定驻留时间，并且用于存储与该多个位置中的每一个位置相关联的数据，该数据表示当该聚焦电子束维持在该样品上的相同位置时该计数器的输出信号的变化。