[发明专利]一种光学检具检测方法

权利要求书

1.一种光学检具检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：根据被测样品的几何结构和被测特征的位置和方向设计用于固定被测样品和光学影像子系统的专用夹具；

S2：采用标准物或合格样品完成对固定在专用夹具上的光学影像子系统的标定，完成光学检具的制作；

S3：光学检具通过测量软件控制光学影像子系统获得被测样品的被测特征的影像数据；

S4：测量软件对获得的带有被测样件的被测特征的影像数据进行测量和分析，获得被测特征的几何尺寸并保存。

2.如权利要求1所述的光学检具检测方法，其特征在于，S1中所述的光学影像子系统包括光学镜头、图像传感器、用于固定光学镜头和图像传感器的支架、信号传输电缆和数据采集和处理电脑，所述数据采集和处理电脑内装载有测量软件，所述图像传感器通过所述信号传输电缆与数据采集和处理电脑通信，测量软件控制图像传感器通过光学镜头获取影像数据并完成测量。

3.如权利要求2所述的光学检具检测方法，其特征在于，所述的光学镜头为远心镜头或经过标定的普通镜头；远心镜头用于在景深范围内处于不同深度层次的多层特征的同步测量，普通镜头用于在同一深度层次的单层特征的测量。

4.如权利要求1所述的光学检具检测方法，其特征在于，S2中光学影像子系统的标定，是指通过在专用夹具上固定已知几何尺寸的标准物或标准样件，通过测量标准物或标准样件、对比已知特征的几何尺寸，完成对光学影像子系统的标定。

5.如权利要求4所述的光学检具检测方法，其特征在于，所述专用夹具是根据被测样件的结构基于被测样件上的被测特征的位置和方向专门设计的固定被测样件和光学影像子系统的装置。

6.如权利要求1所述的光学检具检测方法，其特征在于，S2中所述光学检具可以根据被测样品的被测特征的分布情况，包含一个或多个光学影像子系统并分别进行标定。

7.如权利要求1所述的光学检具检测方法，其特征在于，S3中光学检具通过测量软件控制光学影像子系统获得被测样品的被测特征的影像数据，所述影像数据包括一个或多个被测特征及一层或多层结构的特征。

8.如权利要求1所述的光学检具检测方法，其特征在于，光学检具可通过多组光学影像子系统完成对被测样品的多个方向和位置的不同被测特征的测量，同时通过测得的特征位置实现样品装夹位置偏差的自校正。