[发明专利]用于多晶硅铸锭的石英坩埚、铸锭炉及多晶硅铸锭方法在审
| 申请号： | 201910243932.1 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN109881249A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 冷金标;龙昭钦 | 申请（专利权）人： | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 334100 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英坩埚 八边形 坩埚 多晶硅铸锭 硅锭 内角 光电转换效率 横截面形状 上表面形状 环绕连接 坩埚主体 铸锭炉 申请 上表面边缘 底边缘 液相硅 硅片 内壁 切片 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于多晶硅铸锭的石英坩埚，其特征在于，所述石英坩埚由坩埚埚底和环绕连接在所述坩埚埚底的上表面边缘的坩埚主体组成，所述坩埚埚底的上表面形状为八边形，且所述八边形的每个内角均为135°。
2.如权利要求1所述的用于多晶硅铸锭的石英坩埚，其特征在于，所述坩埚埚底的上表面和所述坩埚主体的内表面均镀有保护层。
3.如权利要求2所述的用于多晶硅铸锭的石英坩埚，其特征在于，所述保护层为氮化硅涂层。
4.一种多晶硅铸锭炉，其特征在于，包括炉体、隔热笼、隔热笼保温条、顶部加热器、侧部加热器、以及如权利要求1至3任一项所述的石英坩埚。
5.如权利要求4所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述侧部加热器为与所述石英坩埚的坩埚主体相对应的八面型加热器。
6.如权利要求4或5所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述隔热笼保温条由多个可拆卸的子保温条组成。
7.如权利要求6所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，相邻所述子保温条之间采用榫卯结构连接。
8.一种多晶硅铸锭方法，其特征在于，包括：
将硅料放置在石英坩埚中，所述石英坩埚为如权利要求1至3任一项所述的石英坩埚；
关闭隔热笼，顶部加热器和侧部加热器对所述硅料进行加热；
液相硅发生结晶，以得到硅锭；
对所述硅锭进行冷却，以得到冷却后硅锭。
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