[发明专利]一种用于多种纳米位移传感器间相互标定的装置

权利要求书

1.一种用于多种纳米位移传感器间相互标定的装置，其特征在于，包括：

位移平台，所述位移平台包括动平台和静平台，动平台与压电器件相连；压电器件用于将控制电压转化为驱动力以驱动动平台运动；

动平台上安装有第一反射镜，静平台上安装有第二反射镜；动平台运动使得激光干涉仪发射的激光经第一反射镜和第二反射镜的反射后产生变化的干涉条纹；位移平台上设置有单极电容传感器、光栅位移传感器和双极电容传感器中的至少一者，激光干涉仪、单极电容传感器、光栅位移传感器和双极电容传感器均可获得动平台位移变化数据，进而实现单极电容传感器、光栅位移传感器和双极电容传感器中的至少一者与激光干涉仪相互标定；

其中，单极电容传感器可设置于静平台上；光栅位移传感器由标尺光栅和光栅读数头构成，标尺光栅可固定于动平台上，光栅读数头可固定于静平台上；双极电容传感器由第一极板和第二极板构成，第一极板可设置于直进式微分头尾部，直进式微分头固定于静平台上，第二极板可设置于与直进式微分头的尾部相对的动平台上。

2.如权利要求1所述的一种用于多种纳米位移传感器间相互标定的装置，其特征在于，动平台上安装有动平台镜架，第一反射镜安装在动平台镜架上；静平台上安装有静平台镜架，第二反射镜安装在静平台镜架上。

3.如权利要求2所述的一种用于多种纳米位移传感器间相互标定的装置，其特征在于，单极电容传感器可设置于静平台镜架上，单极电容传感器与动平台表面之间留设有间隙。

4.如权利要求1所述的一种用于多种纳米位移传感器间相互标定的装置，其特征在于，直进式微分头固定于微分头支座上，微分头支座固定于静平台上。

5.如权利要求4所述的一种用于多种纳米位移传感器间相互标定的装置，其特征在于，微分头支座上设置有第一定位凸台，以保证微分头支座与动平台镜架之间的平行度。

6.如权利要求2所述的一种用于多种纳米位移传感器间相互标定的装置，其特征在于，动平台镜架上设置有第二定位凸台，以保证动平台镜架和静平台镜架之间的平行度。

7.如权利要求1所述的一种用于多种纳米位移传感器间相互标定的装置，其特征在于，所述位移平台和激光干涉仪设置于气浮平台上；气浮平台上固定有激光干涉仪支架，激光干涉仪固定在激光干涉仪支架上。

8.如权利要求2所述的一种用于多种纳米位移传感器间相互标定的装置，其特征在于，静平台镜架上设置有单极电容传感器预留孔，单极电容传感器可插入单极电容传感器预留孔中。

9.一种用于多种纳米位移传感器间相互标定的装置，其特征在于，包括：

位移平台和激光干涉仪，所述位移平台包括动平台和静平台，动平台与压电器件相连；压电器件用于将控制电压转化为驱动力以驱动动平台运动；

位移平台上设置有单极电容传感器、光栅位移传感器和双极电容传感器中的至少两者，单极电容传感器、光栅位移传感器和双极电容传感器均可获得动平台位移变化数据，进而实现单极电容传感器、光栅位移传感器和双极电容传感器中至少两者之间相互标定；

其中，单极电容传感器可设置于静平台上；光栅位移传感器由标尺光栅和光栅读数头构成，标尺光栅可固定于动平台上，光栅读数头可固定于静平台上；双极电容传感器由第一极板和第二极板构成，第一极板可设置于直进式微分头尾部，直进式微分头固定于静平台上，第二极板可设置于与直进式微分头的尾部相对的动平台上。

10.如权利要求9所述的一种用于多种纳米位移传感器间相互标定的装置，其特征在于，直进式微分头固定于微分头支座上，微分头支座固定于静平台上。