[发明专利]MAX相涂层及其制备方法有效
申请号: | 201910248442.0 | 申请日: | 2019-03-29 |
公开(公告)号: | CN111748782B | 公开(公告)日: | 2022-09-09 |
发明(设计)人: | 王振玉;汪爱英;柯培玲;刘应瑞;张栋 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02;C23C14/58 |
代理公司: | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人: | 李丽华 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | max 涂层 及其 制备 方法 | ||
本发明涉及一种MAX相涂层及其制备方法,所述MAX相涂层中,M元素为过渡族金属元素,A元素为主族元素,X元素为C或N;其中,所述A元素中至少包括Sn和另一元素Z,所述Sn在所述A元素中的原子含量x为20%~80%。所述MAX相涂层可通过沉积M‑A‑X涂层后经退火处理制得。本发明的MAX相涂层的自修复温度大大降低,提高了MAX相涂层的服役寿命,且该MAX相涂层的制备方法可控、成本低,易于大面积制备。
技术领域
本发明涉及陶瓷涂层技术领域,特别是涉及MAX相涂层的制备方法。
背景技术
PVD(物理气相沉积)技术制备MAX相涂层是一个极度远离平衡态的过程(冷却速率1012-1016K/s),在沉积过程中,MAX相涂层内存在诸多空位、晶界、空隙等微观缺陷。此外,MAX相涂层在高温服役过程中会发生氧化,由于氧化物和MAX相涂层热膨胀系数的差异,MAX相涂层内应力的增加会使MAX相涂层产生微裂纹。然而,传统的MAX相材料的自修复的温度通常高于800℃,其原因是:A元素具有高活度,在高温服役过程中,A元素优先发生氧化形成氧化物,该氧化物填充微裂纹、孔洞等微观、宏观缺陷。但是,A元素氧化温度相对较高,A元素发生氧化的过程中M元素和X元素也发生了严重氧化,使MAX相材料发生分解,损失了MAX相材料的本征性能。
所以,传统的MAX相涂层破损后无法实现中低温自修复,从而导致MAX相涂层剥落、快速氧化甚至失效,服役寿命减退,直接导致经济损失的同时也带来了大量的安全隐患,极大限制了MAX相涂层的应用。
发明内容
基于此,有必要针对上述问题,提供一种MAX相涂层及其制备方法;所述MAX相涂层的自修复温度大大降低,提高了MAX相涂层服役寿命,且该MAX相涂层的制备方法可控、成本低,易于大面积制备。
一种MAX相涂层,所述MAX相涂层中,M元素为过渡族金属元素,A元素为主族元素,X元素为C或N;其中,所述A元素中至少包括Sn和另一元素Z,所述Sn在所述A元素中的原子含量x为20%~80%。
在其中一个实施例中,所述Sn的熔点低于所述Z的熔点。
在其中一个实施例中,所述Z包括Al、Si中的至少一种。
在其中一个实施例中,所述MAX相涂层包括Ti2(Al1-x,Snx)C、Cr2(Al1-x,Snx)C、V2(Al1-x,Snx)C、Ti3(Al1-x,Snx)C2、Ti4(Al1-x,Snx)C3、Ti4(Al1-x,Snx)N3、Zr2(Al1-x,Snx)C、Zr3(Al1-x,Snx)3C5、Zr2(Al1-x,Snx)4C5中的一种。
在其中一个实施例中,所述MAX相涂层中MAX相的质量分数大于等于95%。
在其中一个实施例中,所述MAX相涂层的厚度为5微米~20微米。
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