[发明专利]一种太阳能电池扩散后退火工艺有效
| 申请号： | 201910249286.X | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN109873052B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 韩燕旭;杨飞飞;梁玲 | 申请（专利权）人： | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人： | 李富元 |
| 地址： | 046000 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 扩散 退火 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种太阳能电池扩散后退火工艺，其特征在于：在太阳能电池扩散后退火过程中按照如下的步骤进行
步骤一、正常温度推进，将石英炉管升温至840℃，以7slm/min的流量通入氮气，以2.5slm/min的流量通入氧气，不通入其它气体，推进7-9min；
步骤二、降温到810℃同时进行推进和退火，以5℃/min速率降至810℃，以7slm/min的流量通入氮气，不通入其它气体，保持推进和退火5-7min；
步骤三、将温度降至750℃-800℃进行变温退火，以2℃/min降温至780℃，同时保持以7slm/min的流量通入氮气，不通入其它气体，然后保温15-25min；
步骤四、补磷源退火，以900sccm/min流量通入三氯氧磷，以750slm/min流量通入氧气，不通入其它气体，以2℃/min降温至650℃；
步骤五、氮气保护退火，以7slm/min的流量通入氮气，不通入其它气体，以2℃/min降温至常温。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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