[发明专利]加热器及具有其的单晶炉

权利要求书

1.一种加热器，其特征在于，包括：

至少两层加热器组件，每层所述加热器组件均具有相对的上端部和下端部，至少一层所述加热器组件上形成自所述上端部向所述下端部延伸的第一狭缝以及自所述下端部向所述上端部延伸的第二狭缝，上下相邻的两层所述加热器组件层叠设置，所述第一狭缝和/或所述第二狭缝的尺寸可调；

电极脚，所述电极脚可拆卸地设置所述加热器的底部。

2.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，至少一层所述加热器组件上设有多个间隔设置的所述第一狭缝和多个间隔设置的所述第二狭缝。

3.根据权利要求2所述的加热器，其特征在于，至少一层所述加热器组件为高电阻率材料，至少一层所述高电阻率材料的加热器组件上的至少一部分所述第一狭缝和所述第二狭缝相对设置。

4.根据权利要求3所述的加热器，其特征在于，所述高电阻率材料为碳-碳材料。

5.根据权利要求2-4中任一项所述的加热器，其特征在于，至少一层所述加热器组件为低电阻率材料，至少一层所述低电阻率材料的加热器组件上的至少一部分所述第一狭缝和所述第二狭缝交错分布，并且在所述加热器组件展开的长度方向上的投影，所述第一狭缝与所述第二狭缝之间具有重叠区域。

6.根据权利要求5所述的加热器，其特征在于，所述低电阻率材料为石墨材料和/或金属材料。

7.根据权利要求6所述的加热器，其特征在于，至少一部分上下相邻的两层所述加热器组件中，位于上层的所述加热器组件的第二狭缝与位于下层的所述加热器组件的第一狭缝上下正对并连通。

8.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述第一狭缝和所述第二狭缝的高度分别独立地为40～490mm，宽度分别独立地为10～150mm。

9.根据权利要求2所述的加热器，其特征在于，每层所述加热器组件上相邻两个所述第一狭缝的距离为30～300mm，

每层所述加热器组件上相邻两个所述第二狭缝的距离为30～300mm。

10.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，每层所述加热器组件的高度为40～500毫米。

11.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述至少两层加热器组件为一体化成型。

12.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，至少一部分所述上下相邻的两层加热器组件之间可拆卸连接。

13.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述电极脚在所述加热器底部对称布置。

14.根据权利要求1或13所述的加热器，其特征在于，包括两个所述电极脚。

15.一种单晶炉，其特征在于，所述单晶炉上具有权利要求1-14中任一项所述加热器。