[发明专利]一种研磨液分配臂及化学机械平坦化装置在审
| 申请号： | 201910250307.X | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN109940517A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 黄振伟;王昭钦 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/00;B24B37/34;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 高洁;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨液 分配臂 机械臂 化学机械平坦化 挡板 角度可调 喷嘴 研磨 连接件 喷嘴排 研磨台 缓冲 配置 铺展 申请 分配 延伸 移动 | ||
1.一种用于分配研磨液的分配臂，其特征在于，所述分配臂包括：
机械臂，所述机械臂能够移动到任何所需位置；
配置为用于输送研磨液的喷嘴，固定地或角度可调地设置在机械臂的下方；
配置为用于缓冲所述喷嘴排出的研磨液的挡板，固定地或角度可调地从用于连接所述挡板与所述机械臂的连接件上倾斜地延伸到所述喷嘴的下方。
2.根据权利要求1所述的分配臂，其中，所述喷嘴的中心轴与铅垂线的夹角为0°～30°。
3.根据权利要求2所述的分配臂，其中，所述喷嘴的中心轴与铅垂线的夹角为0°。
4.根据权利要求1所述的分配臂，其中，所述喷嘴的出口横截面的长宽比为5～20。
5.根据权利要求4所述的分配臂，其中，所述喷嘴的出口横截面的长宽比为8～12。
6.根据权利要求4或5所述的分配臂，其中，所述喷嘴的出口横截面形状是矩形或椭圆形。
7.根据权利要求1所述的分配臂，其中，所述挡板的平面与铅垂线之间的夹角为30°～60°。
8.根据权利要求7所述的分配臂，其中，所述挡板的平面与铅垂线之间的夹角为45°。
9.根据权利要求1所述的分配臂，其中，所述挡板的宽度为所述喷嘴的长度的120％～150％。
10.根据权利要求1所述的分配臂，其中，所述挡板的材料选自PFA、FEP、PTFE、PMMA、玻璃和树脂。
11.根据权利要求10所述的分配臂，其中，所述挡板的材料选自PFA和PTFE。
12.根据权利要求1所述的分配臂，其中，所述连接件与所述挡板以及与所述机械臂的连接方式分别选自焊接、热熔连接、螺纹连接、吸盘连接、铆接和粘接。
13.根据权利要求12所述的分配臂，其中，所述连接件与所述挡板以及与所述机械臂的连接方式为螺纹连接。
14.一种化学机械平坦化装置，所述装置包括研磨台面、至少一个磨头以及根据权利要求1～13所述的分配臂。
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