[发明专利]可调整感应电容值的微机电感测装置

权利要求书

1.一种可调整感应电容值的微机电感测装置，其特征在于，包含：

特殊应用集成电路芯片，包含：

上表面；

读取电路；以及

多个电性开关；以及

感测元件，包含：

固定电极，包含多个电极单元；以及

可动电极，当侦测一物理量时，该可动电极可相对该固定电极移动并对应该固定电极的该多个电极单元；

其中，各该多个电性开关分别电性耦接至该固定电极的各该多个电极单元，用以根据待侦测的该物理量的变化程度控制各该多个电极单元的一工作状态，进而可改变该感测元件的一感应电容值。

2.如权利要求1所述的可调整感应电容值的微机电感测装置，其中该工作状态包含一开启状态及一关闭状态，当该特殊应用集成电路芯片经由各该多个电性开关供应电荷至各该多个电极单元时，各该多个电极单元的工作状态可定义为该开启状态，当该特殊应用集成电路芯片通过各该多个电性开关不供应电荷至各该多个电极单元时，各该多个电极单元的工作状态可定义为该关闭状态。

3.如权利要求2所述的可调整感应电容值的微机电感测装置，其中一部分该多个电极单元可形成一电极组合，一部分该多个电性开关可使得该电极组合中的该多个电极单元具有相同的该工作状态。

4.如权利要求2所述的可调整感应电容值的微机电感测装置，其中该多个电性开关为电容式感应开关。

5.如权利要求2所述的可调整感应电容值的微机电感测装置，其中该多个电性开关为可恢复式熔断开关。

6.如权利要求1所述的可调整感应电容值的微机电感测装置，其中该多个电极单元设置于该特殊应用集成电路芯片的该上表面。

7.如权利要求1所述的可调整感应电容值的微机电感测装置，另包含基板，其中该多个电极单元及该特殊应用集成电路芯片皆设置于该基板上。

8.如权利要求6所述的可调整感应电容值的微机电感测装置，其中该可动电极包含固定部以及可动部，该固定部设置于该特殊应用集成电路芯片的该上表面，且该可动部对应于该多个电极单元。

9.如权利要求8所述的可调整感应电容值的微机电感测装置，其中该可动电极的该可动部的一端连接该固定部，该可动部的相对另一端悬空设置。

10.如权利要求8所述的可调整感应电容值的微机电感测装置，其中该可动电极的该固定部围绕该多个电极单元。

11.如权利要求8所述的可调整感应电容值的微机电感测装置，其中该固定电极的该多个电极单元包含中央电极单元以及至少一环形电极单元，且该至少一环形电极单元围绕该中央电极单元。

12.如权利要求8所述的可调整感应电容值的微机电感测装置，其中且该可动电极可沿着垂直该上表面的法线的方向相对该固定电极移动。

13.如权利要求12所述的可调整感应电容值的微机电感测装置，其中该固定电极的该多个电极单元包含至少一第一电极单元以及至少一第二电极单元，该可动电极包含固定部、挠曲部以及可动部，该可动部经由该挠曲部连接于该固定部，且该至少一第一电极单元与该至少一第二电极单元分别位于该可动部的相对两侧。