[发明专利]一种带布拉格反射镜的非对称结构大功率激光器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910250940.9 申请日: 2019-03-29
公开(公告)号: CN111755947B 公开(公告)日: 2022-02-18
发明(设计)人: 刘飞;邓桃;王朝旺;郑兆河 申请(专利权)人: 潍坊华光光电子有限公司
主分类号: H01S5/187 分类号: H01S5/187;H01S5/343
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 赵龙群
地址: 261061 山东省潍坊市奎文区*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 布拉格 反射 对称 结构 大功率 激光器 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种带布拉格反射镜的非对称结构大功率激光器,包括GaAs衬底,其特征在于,在GaAs衬底上包括由下至上依次沉积的GaAs缓冲层、Ga1-xInxP过渡层、Al1-xInxP下限制层、(Al1-xGax)yIn1-yP下波导层、Ga1-xInxP量子阱发光区、(Al1-xGax)yIn1-yP上波导层、Al1-xGaxAs布拉格反射层、Al1-xGaxAs上限制层和GaAs帽层;

所述(Al1-xGax)yIn1-yP下波导层的厚度大于所述(Al1-xGax)yIn1-yP上波导层的厚度;

其中,Ga1-xInxP过渡层中的0.45≤x≤0.55;Al1-xInxP下限制层中0.3≤x≤0.6;(Al1-xGax)yIn1-yP下波导层中0.4≤x≤0.6,0.4≤y≤0.6;Ga1-xInxP量子阱发光区中0.45≤x≤0.55;(Al1-xGax)yIn1-yP上波导层中0.4≤x≤0.6,0.4≤y≤0.6;Al1-xGaxAs布拉格反射层中0≤x≤0.55;Al1-xGaxAs上限制层中0.1≤x≤0.3。

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