[发明专利]基于自反射光的扩束光路补偿的激光扩束传输系统及方法

权利要求书

1.一种基于自反射光的扩束光路补偿的激光扩束传输系统，其特征在于，所述系统包括：

分光镜，入射光束经过所述分光镜后被分成第一反射光束和第一透射光束；

第一扩束机构，对所述第一透射光束进行扩束，以形成直径与变形反射镜口径相匹配的第一光束；

变形反射镜，所述第一光束经过所述变形反射镜后反射形成第二反射光束；

第二扩束机构，将所述第二反射光束进行扩束，以形成第二光束；

采样反射镜，所述第二光束经过所述采样反射镜后反射形成第三反射光束，所述第三反射光束依次经过所述第二扩束机构、所述变形反射镜、所述第一扩束机构和所述分光镜，被所述分光镜分成第四反射光束和第二透射光束；

缩束机构，将所述第四反射光束进行缩束，以形成与波前探测器口径相匹配的第三光束；

波前探测器，获取所述第三光束的波前信息；

波前控制器，根据所述波前信息计算控制电压；

高压放大器，将所述控制电压施加到所述变形反射镜上。

2.如权利要求1所述的激光扩束传输系统，其特征在于，所述采样反射镜为带楔角的平面反射镜，包括前反射面和后反射面，所述楔角在所述后反射面上，所述第二光束先到达所述前反射面。

3.如权利要求2所述的激光扩束传输系统，其特征在于，所述前反射面和所述后反射面上均设有增透膜。

4.如权利要求1所述的激光扩束传输系统，其特征在于，所述第一扩束机构是由若干个透镜组成的倍率可调节的扩束机构。

5.如权利要求1所述的激光扩束传输系统，其特征在于，所述分光镜为双向分光元件。

6.如权利要求1所述的激光扩束传输系统，其特征在于，所述系统还包括模拟平行光源和光垃圾篓，所述光垃圾篓将不需要的光吸收并隔离，所述模拟平行光源输出模拟平行光，用于对所述波前控制器进行标定。

7.如权利要求6所述的激光扩束传输系统，其特征在于，所述分光镜、所述采样反射器、所述模拟平行光源和所述光垃圾篓均能够被切入或切出光路中。

8.如权利要求1所述的激光扩束传输系统，其特征在于，所述缩束机构包括聚焦透镜和准直透镜，所述第四反射光束依次经过所述聚焦透镜和所述准直透镜后，形成直径与所述波前探测器的口径相匹配的第三光束。

9.如权利要求8所述的激光扩束传输系统，其特征在于，所述聚焦透镜和所述准直透镜均为凸透镜；和/或

所述第二扩束机构是由若干个透镜组成的扩束机构；和/或

所述分光镜为分光棱镜晶体或分光膜；和/或

所述变形镜为连续镜面压电促动变形镜或MEMS变形镜；和/或

所述波前控制器为工业控制计算机。

10.一种如权利要求1-9中任一项所述系统的激光扩束传输方法，其特征在于，所述方法包括：

对所述波前控制器进行标定；

将入射光束进行扩束，以形成直径与所述变形反射镜口径相匹配的第一光束；

将所述第一光束经变形反射镜反射形成的反射光束进行扩束，以形成第二光束；

接收所述第二光束的反射光束，并获取所述反射光束的波前信息；

根据所述波前信息计算控制电压；

根据所述控制电压对光路进行校正。