[发明专利]一种光学压力传感器在审
| 申请号： | 201910252438.1 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN110068405A | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 蔡一博;王振宇;乔治;焦新兵 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02 |
| 代理公司： | 上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312 | 代理人： | 余昌昊 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射光 反射角 光斑探测器 反射层 反射镜 透射光 光学压力传感器 分束装置 激光光源 应变检测单元 反射镜反射 反应速度快 光斑位置 灵敏度 变形层 检测 导电 分束 激光 发射 | ||
1.一种光学压力传感器，其特征在于，包括激光光源、分束装置、检测单元、反射镜和光斑探测器；
其中，所述检测单元包括一导电变形层和反射层；
所述激光光源发射出的激光经所述分束装置分束后形成透射光和反射光；
所述透射光经所述反射层后进入所述光斑探测器；所述透射光与反射层之间形成第一反射角；
所述反射光经所述反射镜反射后进入所述光斑探测器；所述反射光与反射镜之间形成第二反射角；
所述第一反射角等于所述第二反射角。
2.根据权利要求1所述的光学压力传感器，其特征在于，所述透射光与所述检测单元之间的入射角和第一发射角之间的夹角为0°～180°。
3.根据权利要求1所述的光学压力传感器，其特征在于，所述导电变形层包括一对电极构件；所述电极构件包括一电极和一石墨层；所述电极形成于所述石墨层上；所述石墨层形成于所述反射层上。
4.根据权利要求3所述的光学压力传感器，其特征在于，其中一个所述电极构件形成于所述发射层的反射面上。
5.根据权利要求3所述的光学压力传感器，其特征在于，所述电极为铜电极。
6.根据权利要求1所述的光学压力传感器，其特征在于，所述反射层包括依次贴合的二氧化硅层和硅层；所述二氧化硅层朝向所述透射光方向设置。
7.根据权利要求1所述的光学压力传感器，其特征在于，经所述分束装置形成的所述透射光沿激光光源的输出光轴方向；经所述分束装置形成的所述反射光垂直于激光光源的输出光轴方向。
8.根据权利要求1所述的光学压力传感器，其特征在于，所述激光波长为300nm～1800nm。
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