[发明专利]一种直拉硅芯原料棒的熔接工艺

权利要求书

1.一种直拉硅芯原料棒的熔接工艺，其特征在于：当发现存在单晶硅芯棒断棱、多晶硅芯棒提断、晶棒直径突变三种中任意一种情况时，进入回熔阶段，在回熔阶段中，采用功率控制，并且采用手动控制，当发生单晶硅芯棒断棱时，将功率增加至等径功率+35kw，回熔长度在硅芯棒直径+20mm以上，当发生多晶硅芯棒提断时，将功率增加至等径功率+35kw，回熔长度大于80mm，当发生晶棒直径突变时，将功率增加至等径功率+35kw，回熔长度是将直径异常部分回熔完并且整体回熔长度大于等于80mm；回熔完毕后进入稳温阶段，在稳温阶段直拉单晶炉由功率控制切换为温度控制，设定温度为等径温度+20℃，稳温2个小时，确保熔液内及熔液表面形成相对稳定的热对流环境，利于拉晶；稳温阶段结束后进入接棒阶段，把硅棒浸入硅液，开始接棒，前期为0.2-0.7mm/min低拉速生长，根据固液面光圈情况及时调节晶升、埚升及温度参数，等长晶长度大于50mm、晶体生长情况趋于稳定后由手动状态切换为自动等径状态。