[发明专利]温度参数及压力参数获取方法、装置、设备及存储介质有效
申请号: | 201910252664.X | 申请日: | 2019-03-29 |
公开(公告)号: | CN110008574B | 公开(公告)日: | 2022-12-13 |
发明(设计)人: | 王晓霞;于洁;王遥遥;孙湃;李蒙;秦树林;王春华;李鹏涛;黄庭峰;历伟;赵铁磊;马青 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 温度 参数 压力 获取 方法 装置 设备 存储 介质 | ||
1.一种MDR球形微腔的温度参数及压力参数获取方法,其特征在于,
以不同波长的第一激光及第二激光同时对所述MDR球形微腔激励,并同时改变所述MDR球形微腔的第一测试温度和第一测试压力,以获得所述第一激光及所述第二激光的温度谱线移动量及压力谱线移动量,并根据以下关系式获得所述MDR球形微腔的温度参数及压力参数:
其中,Δλ1为所述第一激光不区分温度、压力效应的谱线移动量,Δλ2为所述第二激光不区分温度、压力效应的谱线移动量,ε为所述MDR球形微腔的热光系数,α为所述MDR球形微腔的热膨胀系数,γ为所述MDR球形微腔的折射率压力系数,G为所述MDR球形微腔的应变杨氏模量,R为所述MDR球形微腔的半径,λ1为所述第一激光的波长,λ2为所述第二激光的波长,n1为所述MDR球形微腔对所述第一激光的折射率,n2为所述MDR球形微腔对所述第二激光的折射率,Δλ1T为所述第一激光的温度谱线移动量,Δλ1P为所述第一激光的压力谱线移动量,Δλ2T为所述第二激光的温度谱线移动量,Δλ2P为所述第二激光的压力谱线移动量,ΔT为温度改变量,ΔP为压力改变量;
根据以下方法获取所述热光系数、所述热膨胀系数、所述折射率压力系数及所述应变杨氏模量:
获取波长不同的第三激光、第四激光及第五激光共同耦合入所述MDR球形微腔后的三个自由光光谱范围;
依次改变所述MDR球形微腔的第二测试温度和第二测试压力,获取温度改变后的三个温度自由光光谱范围及压力改变后的三个压力自由光光谱范围;
根据所述自由光光谱范围及所述温度自由光光谱范围确定所述热光系数和所述热膨胀系数,根据所述自由光光谱范围及所述压力自由光光谱范围确定所述折射率压力系数和所述应变杨氏模量。
2.根据权利要求1所述的MDR球形微腔的温度参数及压力参数获取方法,其特征在于,所述根据所述自由光光谱范围及所述温度自由光光谱范围确定所述热光系数和所述热膨胀系数,具体为:
FSR3=f(λ3,n3,R);
FSR4=f(λ4,n4,R);
FSR5=f(λ5,n5,R);
FSR′3=f(λ3,n3+εΔT,R+αΔT);
FSR′4=f(λ4,n4+εΔT,R+αΔT);
FSR′5=f(λ5,n5+εΔT,R+αΔT);
其中,对于任意激光的自由光光谱范围表示为FSR′i为温度改变后的自由光光谱范围,λ为激光的波长,为诺依曼函数的根,n为所述MDR球形微腔对激光的折射率,R为所述MDR球形微腔的半径,ν、p为与所述MDR球形微腔无关的参数,ε为所述热光系数,α为所述热膨胀系数,i为激光的序号。
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