[发明专利]一种落尘检测方法

说明书

本发明实施例公开了一种落尘检测方法，该落尘检测方法包括：S1，提供一种落尘检测设备，所述落尘检测设备包含检测模块，用于放置和检测待检测透明基板；所述检测模块包括壳体以及设置在所述壳体中的光源、图像采集单元和控制单元；S2，扫描所述待检测透明基板，获取第一时间点T1的第一落尘数量N1；S3，扫描所述待检测透明基板，获取第二时间点T2的第二落尘数量N2。本发明实施例，检测方法简单，采用简单的图像采集技术实现了对落尘检测设备所处环境的洁净检测，还实现了对待检测透明基板的洁净检测。

技术领域

本发明实施例涉及检测技术，尤其涉及一种用于检测落尘的落尘检测方法。

背景技术

无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础，通过控制室内空气悬浮微粒浓度，从而使室内达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，多应用于半导体器件的制作或医疗行业中。

目前，无尘室的检测技术是藉由内部真空源将空气样本吸入至样本腔室内,空气样本穿过雷射光束，当空气样本中的微粒通过光束时，光束光线与微粒反应而产生散射与反射，光传感器接收这些散射与反射光线并计算以得到空气样本中的落尘量。显然，该检测技术复杂。

发明内容

本发明实施例提供一种落尘检测方法，以解决现有无尘室检测技术复杂的问题。

本发明实施例提供了一种落尘检测方法，包含步骤：

S1，提供一种落尘检测设备，所述落尘检测设备包含检测模块，用于放置和检测待检测透明基板；所述检测模块包括壳体以及设置在所述壳体中的光源、图像采集单元和控制单元；

S2，扫描所述待检测透明基板，获取第一时间点T1的第一落尘数量N1；

S3，扫描所述待检测透明基板，获取第二时间点T2的第二落尘数量N2。

进一步地，所述落尘检测方法还包含步骤：

S4，根据所述第二落尘数量N2与所述第一落尘数量N1的差值，获取所述第一时间点T1至所述第二时间点T2的时间段内所述待检测透明基板上的落尘数量。

进一步地，所述步骤S1还包含步骤S11，放置待检测透明基板于所述检测模块上。

进一步地，所述步骤S1还包含启动所述落尘检测设备的步骤，启动所述落尘检测设备的步骤包含：

S12，开启所述光源并调整所述光源照射方向至所述待检测透明基板；

S13，开启所述图像采集单元和所述控制单元。

进一步地，所述步骤S2还包含：

S21，获取落尘的尺寸；

S22，将所述落尘的尺寸与预设范围比较；

S23，若所述落尘的尺寸落入所述预设范围，则将所述落尘计入所述第一落尘数量N1。

进一步地，所述步骤S3包含：

S31，获取落尘的尺寸；

S32，将所述落尘的尺寸与预设范围比较；

S33，若所述落尘的尺寸落入所述预设范围，则将所述落尘计入所述第二落尘数量N2。

进一步地，还包含：步骤S5，将落尘的图像与预设落尘图像进行匹配，分析所述待检测透明基板上的落尘的种类。

进一步地，所述步骤S5包含步骤：

S51，将落尘的图像与所述预存落尘图像进行匹配；