[发明专利]一种金刚线切割液及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种金刚线切割液，由以下组分的原料制备而成：

润滑剂10wt%~20wt%；

消泡剂1wt%~5wt%；

分散剂1wt%~10wt%；

余量为水；

所述润滑剂由质量比为1：（1.5~2.5）：（0.5~1）的多支链醇改性表面活性剂、炔二醇改性表面活性剂和特殊碳氢类非离子表面活性剂混合物组成，或由质量比为（3~5）：1的炔二醇改性表面活性剂和特殊碳氢类非离子表面活性剂混合物组成；所述特殊碳氢类非离子表面活性剂混合物由醇类化合物脱水聚合而成；所述消泡剂为小分子量的炔二醇非离子型表面活性剂；所述小分子量的炔二醇非离子型表面活性剂的分子量为200~250。

2.根据权利要求1所述的金刚线切割液，其特征在于，所述分散剂选自丙烯酸盐类分散剂、丙烯酸脂类分散剂和丙烯酸共聚物分散剂中的一种或多种。

3.一种权利要求1~2任一项所述的金刚线切割液的制备方法，包括以下步骤：

a）将润滑剂、分散剂和水进行第一次混合，得到混合液；

b）将步骤a）得到的混合液和消泡剂进行第二次混合，得到金刚线切割液。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，步骤a）中所述第一次混合的温度为20℃~30℃，转速为1000r/min~1200r/min，时间为20min~40min。

5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，步骤b）中所述第二次混合的温度为20℃~30℃，转速为1000r/min~1200r/min，时间为20min~40min。

6.一种金刚线切割硅片的方法，在金刚线切割液存在下对硅片进行金刚线切割，其特征在于，所述金刚线切割液为权利要求1~2任一项所述的金刚线切割液。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述硅片为单晶硅片或多晶硅片。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述金刚线切割液的用量为1100mL~1300mL。