[发明专利]基于微尺度皱纹的金薄膜柔性裂纹传感器在审
| 申请号： | 201910257488.9 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN111766000A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 邹强;郑佳 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 徐金生 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 尺度 皱纹 薄膜 柔性 裂纹 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.基于微尺度皱纹的金薄膜柔性裂纹传感器，其特征在于，包括柔性基底(1)，所述柔性基底(1)的表面涂覆有氧化石墨烯层(2)；
涂覆有氧化石墨烯层(2)的柔性基底(1)的表面，通过离子溅射的方式，沉积形成有金膜(3)。
2.如权利要求1所述的基于微尺度皱纹的金薄膜柔性裂纹传感器，其特征在于，所述柔性基底(1)的制备包括以下步骤：
第一步：将聚二甲基硅氧烷PDMS作为主剂，与固化剂按照10:1的质量比进行混合，在搅拌脱气后，悬涂在玻璃基片上并进行固化；
第二步：将固化后的聚二甲基硅氧烷PDMS从玻璃基片上剥离，预拉伸后，能够在聚二甲基硅氧烷PDMS的表面形成褶皱，然后进行紫外臭氧处理，在聚二甲基硅氧烷PDMS的外表面形成氧化硅SiOx层，其中x≤2。
3.如权利要求2所述的尺度可控的微皱纹金薄膜柔性裂纹传感器，其特征在于，所述固化剂为含氢硅油。
4.如权利要求1所述的基于微尺度皱纹的金薄膜柔性裂纹传感器，其特征在于，所述氧化石墨烯层(2)，通过刮涂的方式，涂覆在所述柔性基底(1)的表面。
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