[发明专利]一种用于COF湿制程的液浮喷盘在审
申请号: | 201910257681.2 | 申请日: | 2019-04-01 |
公开(公告)号: | CN110012604A | 公开(公告)日: | 2019-07-12 |
发明(设计)人: | 杨洁;方磊;孙彬;吴骏;沈洪;李晓华 | 申请(专利权)人: | 上达电子(深圳)股份有限公司 |
主分类号: | H05K3/00 | 分类号: | H05K3/00;H05K3/06 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 唐致明 |
地址: | 518104 广东省深圳市宝安区沙井街道黄*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 密封腔体 出水孔 进水口 湿制程 显影液 段差 滚轮 喷盘 液浮 液柱 尺寸设计 结构接触 显影作用 支撑作用 传统的 侧壁 干膜 支撑 损伤 污染 | ||
1.一种用于COF湿制程的液浮喷盘,其特征在于,包括:密封腔体,所述密封腔体的侧壁上开设进水口与出水孔;显影液从进水口进入所述密封腔体、再通过所述出水孔从所述密封腔体冲出、顶起位于所述出水孔上方的COF产品。
2.根据权利要求1所述的用于COF湿制程的液浮喷盘,其特征在于:所述密封腔体包括外层密封腔与内层密封腔,所述外层密封腔套设在所述内层密封腔外侧,二者之间形成夹层腔;所述内层密封腔的侧壁上设置所述进水口以及出水口,所述外层密封腔的侧壁上设置所述出水孔。
3.根据权利要求2所述的用于COF湿制程的液浮喷盘,其特征在于:所述进水口设置在所述内层密封腔沿高度方向设置的端面上,所述出水口设置在所述内层密封腔沿长度方向设置的端面上;所述出水孔设置在所述外层密封腔的上端面上。
4.根据权利要求3所述的用于COF湿制程的液浮喷盘,其特征在于:所述内层密封腔的下端面上设置若干所述出水口,且若干所述出水口沿所述内层密封腔的长度方向直线排布。
5.根据权利要求3所述的用于COF湿制程的液浮喷盘,其特征在于:设置若干所述出水孔位于所述外层密封腔的上端面,且若干所述出水孔呈行、列均匀排布。
6.根据权利要求3所述的用于COF湿制程的液浮喷盘,其特征在于:所述进水口所在的内层密封腔的端面与所述外层密封腔对应位置处的端面固定连接。
7.根据权利要求2至6中任一项所述的用于COF湿制程的液浮喷盘,其特征在于:所述外层密封腔与所述内层密封腔均呈长方体形。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的用于COF湿制程的液浮喷盘,其特征在于:所述出水孔呈直径为2mm的圆形。
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