[发明专利]一种基于悬空结构的压电微机械超声传感器

权利要求书

1.一种基于悬空结构的压电微机械超声传感器，其特征在于，包括：

基座；

压电晶片，通过一个或多个连接件悬空设置在所述基座上，所述压电晶片用于产生或接收超声波；

所述基座和所述压电晶片之间形成有镂空区域，所述压电晶片通过一个或多个所述连接件固定在所述基座的内侧面上。

2.如权利要求1所述的压电微机械超声传感器，其特征在于，多个所述连接件均匀地分布在所述基座的内侧面上，以对所述压电晶片形成稳定的拉应力。

3.如权利要求2所述的压电微机械超声传感器，其特征在于，所述压电晶片包括第一钝化层，所述连接件固定连接在所述第一钝化层上，所述第一钝化层上依次沉积形成有下电极、压电材料和上电极。

4.如权利要求3所述的压电微机械超声传感器，其特征在于，所述第一钝化层的下表面设有基底层，所述上电极的表面沉积形成有第二钝化层。

5.如权利要求3所述的压电微机械超声传感器，其特征在于，至少其中一个所述连接件上设有导体，所述导体的一端延伸连接至所述上电极或所述下电极，所述导体用于为所述压电晶片传输超声电信号。

6.如权利要求5所述的压电微机械超声传感器，其特征在于，所述连接件为钝化材料、硅基材料或者其结合构成的塑性悬梁结构，或者，所述连接件为折叠金属或者其与钝化材料结合构成的弹性悬梁结构。

7.如权利要求1-6任一项所述的压电微机械超声传感器，其特征在于，所述压电晶片与所述基座一体成型，刻蚀得到所述压电晶片和所述基座之间的镂空区域，以及一个或多个所述连接件。

8.如权利要求7所述的压电微机械超声传感器，其特征在于，所述压电晶片包括但不限于方形、矩形、圆形、凹面形、贝壳形、穹顶形，所述基座的镂空区域适配于所述压电晶片的形状。

9.如权利要求8所述的压电微机械超声传感器，其特征在于，还包括壳体，所述壳体设有容纳所述基座和所述压电晶片的内腔，以对所述基座和所述压电晶片进行防护。