[发明专利]基于聚碳酸酯模板法制备柔性电容传感器的方法在审
| 申请号： | 201910260100.0 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN111765909A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 邹强;马卓敏 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01D5/24 | 分类号： | G01D5/24 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 韩新城 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 聚碳酸酯 模板 法制 柔性 电容 传感器 方法 | ||
【权利要求书】：
1.基于聚碳酸酯模板法制备柔性电容传感器的方法，其特征在于，包括步骤：
将电介质材料PDMS匀在载玻片上，固化后得到第一层PDMS膜，在第一层PDMS膜上继续匀电介质材料PDMS，得到第二层PDMS膜，形成PDMS样品；
将表面具有一定高度的孔洞的PCET模板放在第二层PDMS膜上，对该PCET模板与PDMS样品抽真空处理，用气压使未固化的PDMS进入PCET模板的孔洞里，固化后在PDMS样品上形成柱状微结构；
洗除PCTE模板，形成具有柱状微结构的PDMS介电层；
在具有柱状微结构的PDMS介电层的上下端分别装配ITO/PET导电膜形成的上电极及下电极，完成柔性电容传感器制作。
2.如权利要求1所述基于聚碳酸酯模板法制备柔性电容传感器的方法，其特征在于，所述第一层PDMS膜的厚度为200um，所述第一层PDMS膜的厚度为100um。
3.如权利要求1所述基于聚碳酸酯模板法制备柔性电容传感器的方法，其特征在于，所述PCET模板的厚度为13um表面随机分布孔洞的孔径为5um。
4.如权利要求1所述基于聚碳酸酯模板法制备柔性电容传感器的方法，其特征在于，所述PCET模板采用二氯甲烷溶解法清除。
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