[发明专利]三自由度解耦超精密大行程定位及激振装置

权利要求书

1.一种三自由度解耦超精密大行程定位及激振装置，其特征在于，包括上负载盘(1)及下安装盘(5)，上负载盘(1)与下安装盘(5)之间通过中间的磁悬浮负载部件(3)及周围的三个相同的作动元件(2)连接；所述磁悬浮负载部件(3)包括下卸载套筒(304)，下卸载套筒(304)内设有相互排斥的上永磁体(305)及下永磁体(306)，上永磁体(305)与其上方的上滑动槽(302)连接，上滑动槽(302)通过超精密直线轴承(303)固定于下卸载套筒(304)内，上滑动槽(302)的顶部与外螺纹万向球(301)相配合；所述作动元件(2)包括带环形隔断的驱动器外壳(204)，驱动器外壳(204)内设有包裹有励磁线圈(205)的超磁致伸缩棒(207)，超磁致伸缩棒(207)的两端通过磁轭端盖(208)与驱动器外壳(204)连接固定，超磁致伸缩棒(207)的一端连接驱动器输入杆，另一端连接驱动器输出杆(211)，驱动器输出杆(211)与两级柔顺杠杆放大机构(202)的输入端(210)连接；两级柔顺杠杆放大机构(202)的第二级输出梁中部和驱动器外壳(204)底部各设有一个柔顺圆柱球铰(202)，两个柔顺圆柱球铰(202)的外侧设有连接螺栓(209)。

2.如权利要求1所述的三自由度解耦超精密大行程定位及激振装置，其特征在于，所述相邻作动元件(2)之间呈90°直角。

3.如权利要求1所述的三自由度解耦超精密大行程定位及激振装置，其特征在于，所述上滑动槽(302)的材质为铜。

4.如权利要求1所述的三自由度解耦超精密大行程定位及激振装置，其特征在于，所述上负载盘(1)上设有用于与外螺纹万向球(301)连接的螺纹孔(101)、用于与连接螺柱(209)连接的连接孔(102)及用于与其它设备连接的设备固定孔(103)。

5.如权利要求1所述的三自由度解耦超精密大行程定位及激振装置，其特征在于，所述作动元件(2)通过固定底盘(4)与下安装盘(5)连接；固定底盘(4)上设有用于与连接螺栓(209)连接的螺纹连接孔(401)；固定底盘(4)底部设有用于与下安装盘(5)固定的定位凸台(403)。

6.如权利要求5所述的三自由度解耦超精密大行程定位及激振装置，其特征在于，所述固定底盘(4)的螺纹连接孔(401)的一侧连通有微动间隙(404)，微动间隙(404)的两侧设有止动螺钉孔(402)。

7.如权利要求1所述的三自由度解耦超精密大行程定位及激振装置，其特征在于，所述超磁致伸缩棒(207)上端的磁轭端盖(208)设有外螺纹预紧端盖(206)。

8.如权利要求1所述的三自由度解耦超精密大行程定位及激振装置，其特征在于，所述柔顺圆柱球铰(201)的材质为铍青铜。

9.如权利要求1所述的三自由度解耦超精密大行程定位及激振装置，其特征在于，所述两级柔顺杠杆放大机构(202)的下部设有用于支撑的安全拱架(203)。

10.如权利要求1所述的三自由度解耦超精密大行程定位及激振装置，其特征在于，所述两级柔顺杠杆放大机构(202)的输入端(210)与驱动器输出杆(211)通过销(212)连接。