[发明专利]一种AlCr+α-Al2

权利要求书

1.一种AlCr+α-Al₂O₃ 溅射靶材，其特征在于：所述溅射靶材由10～20wt％的α-Al₂O₃，36.2～40.7wt％的Cr和43.8～49.3wt％的Al组成；

所述的AlCr+α-Al2O3溅射靶材的制备方法，包括如下步骤：

(1)将Al粉、Cr粉与α-Al₂O₃粉按比例称量并放入V型混粉机进行充分混合；

(2)将混粉后的粉料装入真空烧结炉模具中，用18～20MPa的载荷冷模压并保持载荷，抽本底真空至小于6×10^-4Pa；

(3)打开充气阀向真空烧结炉内充入Ar气至10～15Pa，关闭充气阀，再抽真空至小于6×10^-4Pa，以去除烧结炉内残余的空气；

(4)打开加热电源升温至520～600℃的烧结温度，到温后加压至100～120MPa，保温保压2～2.5h后保持真空炉冷至室温，脱模后得到致密AlCr+α-Al₂O₃溅射靶材。

2.根据权利要求1所述的一种AlCr+α-Al₂O₃ 溅射靶材，其特征在于：所述AlCr+α-Al₂O₃溅射靶材中Cr含量和α-Al₂O₃含量确定方法为：当Cr含量取上限值40.7wt％时，α-Al₂O₃含量取下限值10wt％；当Cr含量取下限值36.2wt％时，α-Al₂O₃含量取上限值20wt％；当Cr含量取中间值36.2wt％＜Cr含量＜40.7wt％时，α-Al₂O₃含量取中间值10wt％＜α-Al₂O₃含量＜20wt％。

3.根据权利要求1所述的一种AlCr+α-Al₂O₃ 溅射靶材，其特征在于：步骤(1)中所述Al粉与Cr粉的质量比为1.21:1。

4.根据权利要求1所述的一种AlCr+α-Al₂O₃ 溅射靶材，其特征在于：步骤(1)中所述Al粉粒径为350～400目，纯度为99.95％；Cr粉粒径为350～400目，纯度为99.5％；α-Al₂O₃粉粒径为1000～1200目，纯度为99.5％。

5.根据权利要求1所述的一种AlCr+α-Al₂O₃ 溅射靶材，其特征在于：步骤(1)中所述V型混粉机进行充分混合的时间不少于5h。

6.根据权利要求1所述的一种AlCr+α-Al₂O₃ 溅射靶材，其特征在于步骤(4)中所述的烧结温度确定方法为：当Al粉含量取下限值43.8wt％时，烧结温度取上限值600℃；当Al粉含量取上限值49.3wt％时，烧结温度取下限值520℃；当Al粉含量取中间值43.8wt％＜Al粉含量＜49.3wt％时，烧结温度取中间值520℃＜烧结温度＜600℃。