[发明专利]一种多尺寸纳米颗粒混合金属膜及其制备方法有效
申请号: | 201910265776.9 | 申请日: | 2019-04-03 |
公开(公告)号: | CN109979904B | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 叶怀宇;刘旭;张国旗 | 申请(专利权)人: | 深圳第三代半导体研究院 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/532;H01L21/60 |
代理公司: | 北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙) 11888 | 代理人: | 彭随丽 |
地址: | 518051 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 尺寸 纳米 颗粒 混合 金属膜 及其 制备 方法 | ||
1.一种多尺寸纳米颗粒混合金属膜,其特征在于,包括:
有机介质材料,形成有机包覆层;
所述有机介质材料中配置至少两种尺寸的纳米金属颗粒,其中,大尺寸纳米金属颗粒由大尺寸纳米金属溶液制得,小尺寸纳米金属颗粒利用物理法纳米粒子发生器制得,用物理冲击方式将小尺寸纳米金属颗粒打入大尺寸纳米金属颗粒的空隙,通过设定物理冲击参数控制打入的小尺寸纳米金属颗粒量;所述物理冲击方式为施加在小尺寸纳米金属颗粒上的电场、磁场、气流或其组合;还包括
支撑基材,其中支撑基材材质为聚酯纤维、陶瓷、玻璃和/或金属材料或其组合。
2.如权利要求1所述的多尺寸纳米颗粒混合金属膜,其特征在于:所述纳米金属颗粒的金属为金、钯、银、铜、铝、银钯合金、金钯合金、铜银合金、铜铝合金或铜银镍合金。
3.如权利要求1所述的多尺寸纳米颗粒混合金属膜,其特征在于:所述纳米金属颗粒的金属膜为纳米铜膜。
4.如权利要求1所述的多尺寸纳米颗粒混合金属膜,其特征在于:所述大尺寸纳米金属颗粒是颗粒直径在1nmD10um的纳米金属铜颗粒,所述小尺寸纳米金属颗粒是颗粒直径在0.5nmd20nm的小尺寸纳米金属铜颗粒。
5.如权利要求1所述的多尺寸纳米颗粒混合金属膜,其特征在于,所述金属膜烧结前厚度为10微米至200微米。
6.如权利要求1所述的多尺寸纳米颗粒混合金属膜,其特征在于:所述大尺寸纳米金属颗粒和所述小尺寸纳米金属颗粒的形状是球型、纤维状、雪花状、片状和/或线状。
7.如权利要求1至2任一项所述的多尺寸纳米颗粒混合金属膜,其特征在于:
所述支撑基材包括线式、带式、片式、板式结构;
所述线式或带式支撑基材,在制备好金属膜后,收纳为成一卷。
8.如权利要求7任一项所述的多尺寸纳米颗粒混合金属膜,其特征在于:所述支撑基材和纳米颗粒接触的一面具有有机硅涂覆。
9.如权利要求1至2任一项所述的多尺寸纳米颗粒混合金属膜,其特征在于:有机介质材料包括有机溶剂、助焊剂、焊膏、和/或粘合剂。
10.一种多尺寸纳米颗粒混合金属膜制备方法,其特征在于,包括:
步骤1:配置大尺寸纳米金属溶液;
步骤2:通过上述大尺寸纳米金属溶液制备大尺寸纳米金属膏;
步骤3:将所述大尺寸纳米金属膏适用到支撑基材上,通过干燥所述金属膏在所述支撑基材上形成大尺寸纳米金属膜;
步骤4:利用物理法纳米粒子发生器制备小尺寸纳米金属颗粒;
步骤5:利用电场、磁场或气流给小尺寸纳米金属颗粒赋予动能,以物理冲击方式将小尺寸纳米金属颗粒打入所述大尺寸纳米金属膜,填充大尺寸纳米金属颗粒之间的间隙,形成多尺寸纳米颗粒混合金属膜。
11.如权利要求10所述的多尺寸纳米颗粒混合金属膜制备方法,其特征在于,所述纳米金属膏为通过离心、沉淀、分离、洗涤、干燥步骤制备。
12.如权利要求10所述的多尺寸纳米颗粒混合金属膜制备方法,其特征在于:所述纳米金属颗粒的金属为金、钯、银、铜、铝、银钯合金、金钯合金、铜银合金、铜银镍合金或铜铝合金。
13.如权利要求10所述的多尺寸纳米颗粒混合金属膜制备方法,其特征在于:
所述的纳米金属颗粒的形状包括球型、纤维状、雪花状、片状和/或线状。
14.如权利要求10所述的多尺寸纳米颗粒混合金属膜制备方法,其特征在于:所述金属膏通过100-150 ℃,10-25分钟的干燥,在所述支撑基材上形成金属膜。
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