[发明专利]一种高精度差分电容MEMS接口电路及MEMS器件在审
| 申请号： | 201910265985.3 | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN109818604A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 孙泉;齐敏;万中强;乔东海 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | H03K19/0175 | 分类号： | H03K19/0175;G01D5/24 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 冯瑞 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市相*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 差分电容 补偿电容 接口电路 跨导放大器 反馈电容 断开 电压输出端 补偿电压 补偿开关 电容转换 接入开关 开关电路 误差电压 正输入端 并联 电路 检测 引入 | ||
1.一种高精度差分电容MEMS接口电路，用于将MEMS器件电容转换为电压，其特征在于，包括：差分电容C1、差分电容C2、反馈电容C3、补偿电容C4、跨导放大器OTA、开关S0、开关S1、开关S2、开关S3和电压输出端；
所述差分电容C1和差分电容C2串联，用于模拟MEMS器件的电容变化；
所述跨导放大器OTA的负输入端、开关S1的第一端、反馈电容C3的第一端均接入所述差分电容C1和差分电容C2之间，所述开关S0的第一端与反馈电容C3的第二端连接，所述开关S0的第二端接地；
所述电压输出端与跨导放大器OTA的输出端连接，所述开关S2的第一端与反馈电容C3的第二端连接，所述开关S2的第二端、开关S1的第二端均接入电压输出端与跨导放大器OTA的输出端之间；
所述开关S3和补偿电容C4并联后与跨导放大器OTA的正输入端连接。
2.如权利要求1所述的高精度差分电容MEMS接口电路，其特征在于，反馈电容C3和补偿电容C4的大小相等。
3.如权利要求1所述的高精度差分电容MEMS接口电路，其特征在于，所述开关S3的型号和开关S1相同。
4.如权利要求1所述的高精度差分电容MEMS接口电路，其特征在于，所述开关S3和补偿电容C4分别接地。
5.如权利要求1所述的高精度差分电容MEMS接口电路，其特征在于，所述跨导放大器OTA为低噪声跨导放大器。
6.一种MEMS器件，其特征在于，包含如权利要求1-5任一所述的高精度差分电容MEMS接口电路。
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