[发明专利]提供接合连接的装置和方法在审

专利信息
申请号: 201910268058.7 申请日: 2019-04-03
公开(公告)号: CN110349873A 公开(公告)日: 2019-10-18
发明(设计)人: F·伊科克;M·S·布罗尔;S·托费恩科 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: H01L21/607 分类号: H01L21/607
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 郑立柱;张昊
地址: 德国诺伊*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 接合线 第一端 第一导电层 接合 按压 超声能量 第一元件 矩形截面 施加压力 圆形截面 电接触 加热 变形 暴露 创建
【权利要求书】:

1.一种方法,包括:

加热将要被电接触且布置在第一元件(10)上的第一导电层(14);以及

通过向接合线(20)的第一端(22)施加压力并且进一步将所述接合线(20)的所述第一端(22)暴露给超声能量来将所述接合线(20)的所述第一端(22)按压在所述第一导电层(14)上,从而使所述接合线(20)的所述第一端(22)变形,并且在所述接合线(20)的所述第一端(22)与所述第一导电层(14)之间创建永久的物-物接合;其中

所述接合线(20)包括具有至少125μm的直径(d1)的圆形截面或者具有至少500μm的第一宽度(w1)和至少50μm的第一高度(h1)的矩形截面。

2.根据权利要求1所述的方法,还包括:

在所述接合线(20)和所述第一层(14)之间建立楔-楔接合连接。

3.根据权利要求1或2所述的方法,还包括:将所述第一导电层(14)加热到80℃和250℃之间、100℃和250℃之间或者150℃和250℃之间的温度。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,还包括:

在所述第一层(14)和所述接合线(20)的所述第一端(22)周围提供惰性气体、还原保护气体或真空。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法,其中所述第一层(14)具有至少5μm、至少25μm或至少50μm的厚度(d2、d3)。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法,其中所述接合线(20)具有第一硬度,并且所述第一层(14)具有第二硬度,其中所述第二硬度大于所述第一硬度。

7.根据权利要求6所述的方法,其中所述第二硬度大于或等于所述第一硬度的150%。

8.根据权利要求6或7所述的方法,其中所述接合线(20)包括第一材料,并且所述第一层(14)包括所述第一材料的合金。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述接合线(20)包括铜。

10.根据前述权利要求中任一项所述的方法,还包括:

将所述接合线(20)插入接合器件(30)的引导元件(32、36)中,其中所述接合器件(30)被配置为相对于所述第一元件(10)将所述接合线(20)的所述第一端(22)定位在期望位置处,并且在所述期望位置处将所述接合线(20)的所述第一端(22)按压在所述第一元件(10)上。

11.一种用于在接合线(20)和第一元件(10)的第一导电表面(14)之间建立永久接合连接的装置,所述装置包括:

接合室(60、66);

接合器件(30),布置在所述接合室(60、66)内,其中所述接合器件(30)被配置为将所述接合线(20)的第一端(22)按压在所述第一导电表面(14)上;以及

加热器件(40),被配置为加热所述第一层(14)和所述接合线(20)的所述第一端(22),其中

所述装置被配置为在所述第一表面(14)和接合线(20)之间建立连接,所述接合线(20)包括具有至少125μm的直径(d1)的圆形截面或者具有至少500μm的第一宽度(w1)和至少50μm的第一高度(h1)的矩形截面。

12.根据权利要求11所述的装置,其中所述接合器件(30)进一步被配置为在所述接合线(20)和所述第一层(14)之间建立楔-楔接合连接。

13.根据权利要求11或12所述的装置,其中所述接合室(60)包括开口(62),并且所述接合器件(30)通过所述开口(30)伸出。

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