[发明专利]一种自动贴合设备的真空腔体组件

权利要求书

1.一种自动贴合设备的真空腔体组件，包括上腔体（1）和下腔体（2），其特征在于：所述上腔体（1）可拆卸连接于下腔体（2）上端，且上腔体（1）与下腔体（2）相互贴合，所述上腔体（1）由上固定组件（11）、上治具（12）、连接柱（13）、第一真空波纹管（14）、浮动板（15）和压力传感器（16），所述上治具（12）通过连接柱（13）连接于浮动板（15）上端，且连接柱（13）外侧设置有第一真空波纹管（14），所述浮动板（15）上端固定连接有导柱（17），且导柱（17）外侧活动连接有第一直线轴承（18），所述下腔体（2）由第一固定底板（26）、下固定组件（21）、夹紧机构（22）、下贴合治具（23）、下治具背压Z轴（24）及调整平台（25）构成，所述调整平台（25）与下固定组件（21）固定连接于第一固定底板（26），且述调整平台（25）位于下固定组件（21）内侧，所述下治具背压Z轴（24）活动连接于调整平台（25）上端，所述夹紧机构（22）固定连接于下固定组件（21）上端，且下固定组件（21）内部可拆卸连接有下贴合治具（23）。

2.根据权利要求1所述的一种自动贴合设备的真空腔体组件，其特征在于：所述上固定组件（11）内部包括有上腔本体（1101），且上腔本体（1101）上端固定连接有固定块（1102），所述固定块（1102）内部固定连接有导杆（1103），且导杆（1103）外侧活动连接有第二直线轴承（1104），所述第二直线轴承（1104）外侧固定连接有固定板（1105），所述第一直线轴承（18）固定连接与固定板（1105）内部，所述第二直线轴承（1104）位于第一直线轴承（18）外侧，所述上腔本体（1101）上端与固定板（1105）下端固定连接有弹簧安装座（1106），且弹簧安装座（1106）内部固定连接有第一弹簧（1107），所述上腔本体（1101）通过第一弹簧（1107）与固定板（1105）活动连接，且固定板（1105）下端与压力传感器（16）固定连接，所述压力传感器（16）位于固定板（1105）与浮动板（15）之间。

3.根据权利要求1所述的一种自动贴合设备的真空腔体组件，其特征在于：所述上治具（12）内部包括有治具本体（1201），且治具本体（1201）下端固定连接有第二固定底板（1206），所述治具本体（1201）一端设置有工件限位块（1202），且治具本体（1201）另一端设置有活动限位块（1203），所述第二固定底板（1206）上端固定连接有第一气缸（1204），且第一气缸（1204）活动端与活动限位块（1203）固定连接，所述第二固定底板（1206）下端活动连接有治具底板（1205），且治具底板（1205）上端设置有螺旋千分尺（1207），且螺旋千分尺（1207）活动端与第二固定底板（1206）固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种自动贴合设备的真空腔体组件，其特征在于：所述下固定组件（21）内部包括有下腔本体（2101），且下腔本体（2101）下端固定连接有四组连接件（2102），所述连接件（2102）下端设置有支撑件（2104），且连接件（2102）通过调整螺栓（2103）与支撑件（2104）可拆卸连接，所述支撑件（2104）下端固定连接有安装底板（2105），所述下腔本体（2101）后端从左至右依次固定连接有破真空组件（2107）、真空接头（2106）和真空计（2108）。