[发明专利]气体喷淋头、制作方法及包括气体喷淋头的等离子体装置

权利要求书

1.一种用于等离子体装置的气体喷淋头，所述气体喷淋头包括一具有进气面和出气面的气体分布板，所述气体分布板为具有一圆心的圆盘形结构，包括一经过所述圆心并垂直所述气体分布板的中心轴线，其特征在于，所述气体分布板上包括若干具有以所述圆心为圆心的环形气体分布区；

每一环形气体分布区上设置多个贯穿所述进气面和所述出气面的气体通孔，所述气体通孔至少包括沿径向倾斜一定角度的多个第一气体通孔，所述气体通孔还包括多个第二气体通孔，所述第二气体通孔与所述中心轴线平行或与所述第一气体通孔具有不同的径向倾斜方向；

所述同一环形气体分布区中第一气体通孔和第二气体通孔中流出的气体互相远离。

2.如权利要求1所述的气体喷淋头，其特征在于：所述多个第一气体通孔的出气方向向靠近所述中心轴线方向倾斜，所述多个第二气体通孔的出气方向向远离所述中心轴线方向倾斜或与中心轴线平行。

3.如权利要求1所述的气体喷淋头，其特征在于：所述多个第一气体通孔的出气方向向远离所述中心轴线方向倾斜，所述多个第二气体通孔的出气方向向靠近所述中心轴线方向倾斜或与中心轴线平行。

4.如权利要求1所述的气体喷淋头，其特征在于：同一环形气体分布区中所述第一气体通孔和第二气体通孔在所述进气面上的开口中心到所述中心轴线具有第一径向距离差，所述同一气体分布区中所述第一气体通孔和第二气体通孔在所述出气面上的开口中心到所述中心轴线具有第二径向距离差，所述第二径向距离差大于所述第一径向距离差。

5.如权利要求2所述的气体喷淋头，其特征在于：同一气体分布区中所述第一气体通孔和第二气体通孔在所述进气面上的开口中心到所述中心轴线的距离相等，所述第一气体通孔和所述第二气体通孔交替间隔设置。

6.如权利要求4所述的气体喷淋头，其特征在于：同一气体分布区中所述第一气体通孔和第二气体通孔在所述进气面上的开口中心到所述中心轴线的距离相等，若干相邻所述第一气体通孔组成第一气体单元，若干相邻所述第二气体通孔组成第二气体单元，所述第一气体单元和第二气体单元交替间隔设置。

7.如权利要求1所述的气体喷淋头，其特征在于：所述多个第一气体通孔的出气方向向靠近所述中心轴线方向倾斜，所述多个第二气体通孔的出气方向向远离所述中心轴线方向倾斜，所述气体分布板上还设置多个第三气体通孔，所述第三气体通孔与所述中心轴线平行，所述第一气体通孔、第二气体通孔和第三气体通孔交替间隔设置。

8.如权利要求4所述的气体喷淋头，其特征在于：同一气体分布区中所述第一气体通孔和第二气体通孔在所述进气面上的开口中心到所述中心轴线存在一大于0的径向距离差。

9.如权利要求8所述的气体喷淋头，其特征在于：同一气体分布区中所述第一气体通孔在所述进气面上的开口中心到所述中心轴线的径向距离小于所述第二气体通孔在所述进气面上的开口中心到所述中心轴线的径向距离，所述第一气体通孔和所述第二气体通孔在所述进气面上的开口中心两两位于同一径向上。

10.如权利要求8所述的气体喷淋头，其特征在于：同一气体分布区中所述第一气体通孔在所述进气面上的开口中心到所述中心轴线的径向距离小于所述第二气体通孔在所述进气面上的开口中心到所述中心轴线的径向距离，所述第一气体通孔和第二气体通孔在所述进气面上的开口中心分别位于不同径向上。

11.如权利要求1所述的气体喷淋头，其特征在于：所述第一倾斜角度和所述第二倾斜角度大于等于0°小于30°。

12.如权利要求1所述的气体喷淋头，其特征在于：所述第一气体通孔和所述第二气体通孔之间的夹角大于等于5°。