[发明专利]一种垂直型-异域有机自旋电子器件的制备工艺和应用有效
申请号: | 201910271349.1 | 申请日: | 2019-04-04 |
公开(公告)号: | CN109962159B | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 方梅;肖柱;李周;张桑箭;李浩 | 申请(专利权)人: | 中南大学 |
主分类号: | H01L43/12 | 分类号: | H01L43/12;H01L43/08 |
代理公司: | 长沙永星专利商标事务所(普通合伙) 43001 | 代理人: | 何方 |
地址: | 410083 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 垂直 异域 有机 自旋 电子器件 制备 工艺 应用 | ||
1.一种垂直型-异域有机自旋电子器件的制备工艺,其特征在于,包括以下步骤:
(1) 在衬底上外延生长单晶La0.67Sr0.33MnO3薄膜,即LSMO薄膜,并光学刻蚀成LSMO条形电极;
(2) 在LSMO条形电极附近光学套刻Au条形电极,所述Au条形电极与LSMO条形电极平行排列于衬底上;
(3) 采用超高真空热蒸发工艺,利用物理掩模沿LSMO条形电极方向生长厚度呈梯度变化的楔形有机薄膜;
(4) 采用超高真空热蒸发工艺,利用物理掩模在楔形有机薄膜上方,沿垂直于LSMO条形电极方向生长Co条形电极,并在Co条形电极表面生长保护层,得到所述垂直型-异域有机自旋电子器件;
该器件包括衬底,衬底上平行设置有LSMO条形电极和Au条形电极,Au条形电极位于LSMO条形电极的两侧,所述LSMO条形电极和Au条形电极的上方设有楔形有机薄膜,楔形有机薄膜的厚度沿LSMO条形电极方向梯度变化,楔形有机薄膜的上方设有Co条形电极,Co条形电极的方向与LSMO条形电极垂直,Co条形电极的表面设有保护层,以避免Co电极被氧化,形成稳定的整体;
自旋极化电流横向注入有机物,并实现纵向异域自旋探测,通过施加外电场和外磁场,对有机物中电子自旋进行操控;
通过在LSMO-Au电极间加电压,自旋极化载流子由LSMO注入有机层;通过在Au-Co电极间探测垂直方向上由于自旋累积而产生的电压,通过器件面内磁场变化实现异域自旋操控,或者通过器件面外磁场变化实现自旋进动。
2.根据权利要求1所述的垂直型-异域有机自旋电子器件的制备工艺,其特征在于,步骤(1)中,采用PLD外延生长单晶LSMO薄膜,LSMO薄膜的厚度为30nm,经光刻后,LSMO条形电极的宽度为20~200μm。
3.根据权利要求1所述的垂直型-异域有机自旋电子器件的制备工艺,其特征在于,步骤(2)中,Au条形电极位于LSMO条形电极的两侧,Au条形电极的厚度为30nm,宽度为50~200μm。
4.根据权利要求1所述的垂直型-异域有机自旋电子器件的制备工艺,其特征在于,步骤(3)中,楔形有机薄膜的厚度为10~100nm,其厚度为连续变化,最薄处为10nm,最厚处为100nm。
5.根据权利要求1所述的垂直型-异域有机自旋电子器件的制备工艺,其特征在于,步骤(4)中,Co条形电极的厚度为10~20nm,宽度为50~200μm。
6.根据权利要求1或5所述的垂直型-异域有机自旋电子器件的制备工艺,其特征在于,步骤(4)中,保护层为Au或者NaCl,以避免Co被氧化。
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