[发明专利]光配向设备以及光配向方法

说明书

本发明提供了一种光配向设备以及光配向方法。通过设置可转动反射镜，以利用可转动反射镜实现投射出的光束的扫描范围能够覆盖整个基板。因此，在执行光配向时，并不需要移动基板或偏振光发生装置，有效提高了光配向过程中的稳定性，从而有利于提高光配向精度。并且，由于基板在光配向时不需要移动，相应的不需要预留基板台横向移动的空间，从而可以进一步减小光配向设备的体积和质量。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种光配向设备及光配向方法。

背景技术

液晶显示器(LCD)通常包括两个基板(阵列基板TFT，彩膜基板CF)、两个基板之间的液晶层以及两个基板外侧的偏光板。在液晶显示技术中，通过施加电压使液晶层中产生电场，进而改变液晶分子的扭转角度，并配合上下基板外侧的两个偏光板，从而产生图像显示。为保证图像的显示效果，需使液晶分子有一个初始取向方向，因此在基板上设置有配向膜层，通过对配向膜层的表面进行定向以控制液晶分子的排布方向并使其排布方向一致，进而获取均一的显示效果。

目前，对配向膜的取向处理可采用光配向工艺，即利用偏振光发生装置发出规定波长的偏振光，并照射在配向膜上，使得与偏振光的偏振轴方向一致或垂直的配向膜发生光致反应，例如光致交联、光致分解或光致异构，进而使配向膜产生各向异性，并利用其所产生的定向锚定能诱导液晶分子按照一定角度统一取向。

在一种传统的光配向设备中，是将形成有配向膜的基板放置在一可移动的基板台上。在执行光配向时，使基板台沿着预定方向移动，从而使偏振光发生装置发出的偏振光可以扫描整个基板，进而能够对整个基板进行光配向。然而，这种光配向设备，不仅需要为基板台的移动提供更大的空间，从而导致光配向设备的体积庞大且质量大，并且在光配向过程中，由于基板台的移动会存在较大抖动，进而影响光配向精度。此外，基板台的运行轨道还会长期受到光照的影响，影响光配向质量。

或者，在现有的另一种光配向设备中，使偏振光发生装置可以沿着预定方向移动以扫描整个基板。然而，在光配向过程中，偏振光发生装置的移动仍然不可以避免的会存在震动，并且偏振光发生装置可直接对光配向光路造成影响，因此在光配向过程中，偏振光发生装置的稳定性至关重要。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光配向设备，以解决现有的光配向设备体积和质量较大，并且在光配向过程中震动大的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种光配向设备，包括：

至少一个基板台，用于承载基板；

偏振光发生装置，用于发出偏振光；以及，

至少一个可转动反射镜，用于反射由所述偏振光发生装置发出的偏振光，并且在对基板进行光配向时，所述可转动反射镜沿着预定方向转动，以使由所述可转动反射镜反射出的光束沿着对应方向依次投射至所述基板上。

可选的，所述光配向设备配置有第一可转动反射镜和第二可转动反射镜，所述第一可转动反射镜用于反射光束至所述基板的第一部分上，所述第二可转动反射镜用于反射光束至所述基板的第二部分上。

可选的，所述偏振光发生装置设置在所述基板台的上方并对应在所述基板台的中间区域，所述第一可转动反射镜和所述第二可转动反射镜分别配置在所述偏振光发生装置的两侧。

可选的，所述光配向设备还包括：

分光镜，由所述偏振光发生装置发出的偏振光经由所述分光镜拆分为两束偏振光束，所述两束偏振光束分别发射至所述第一可转动反射镜和所述第二可转动反射镜。

可选的，所述分光镜用于使部分偏振光反射以形成第一偏振光束，所述第一偏振光束进一步发射至所述第一可转动反射镜，并使另一部分偏振光折射以形成第二偏振光束，并且所述第二偏振光束进一步发射至所述第二可转动反射镜。