[发明专利]一种基板显影方法和基板显影装置

权利要求书

1.一种基板显影方法，其特征在于，包括：

获取显影指令，所述显影指令携带基板所需的显影时长和显影开始时刻；

根据所述显影开始时刻和所述显示时长，确定第一补液时刻和第二补液时刻，所述第一补液时刻在所述显影开始时刻之前，所述第二补液时刻在所述显影开始时刻之后；

在所述第一补液时刻，向显影槽注入第一预设浓度显影液，以增大所述显影槽内显影液的浓度；

在所述显影开始时刻，将所述基板放入所述显影槽中进行显影；

在显影过程中，在所述第二补液时刻，向所述显影槽注入第二预设浓度显影液，以减小所述显影槽内显影液的浓度。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述显影开始时刻和所述显示时长，确定第一补液时刻和第二补液时刻的步骤，具体包括：

根据所述显影开始时刻和第一预设差值，确定第一补液时刻；

根据所述显影开始时刻和所述显影时长，确定显影结束时刻；

根据所述显影结束时刻和第二预设差值，确定第二补液时刻。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述第一补液时刻，向显影槽注入第一预设浓度显影液的步骤之后，还包括：

开始计时；

判断所述计时时长是否到达第一预设时长；

若是，则检测所述显影槽内显影液的当前浓度，并判断所述当前浓度是否大于预设浓度；

若所述当前浓度不大于所述预设浓度，则向所述显影槽注入所述第一预设浓度显影液，并重新开始计时。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在显影过程中，在所述第二补液时刻，向所述显影槽注入第二预设浓度显影液的步骤之后，还包括：

开始计时；

判断所述计时时长是否到达第二预设时长；

若是，则检测所述显影槽内显影液的当前浓度，并判断所述当前浓度是否大于预设浓度；

若所述当前浓度大于所述预设浓度，则向所述显影槽注入所述第二预设浓度显影液，并重新开始计时。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述将所述基板放入所述显影槽中进行显影的步骤之后，还包括：

统计当前已进行显影的所述基板的数量；

判断所述数量是否到达预设数量；

若是，则向所述显影槽中注入第三预设浓度显影液，以增大所述显影槽内显影液的浓度，并以下一已显影基板开始重新统计数量。

6.一种基板显影装置，其特征在于，包括：

获取模块，用于获取显影指令，所述显影指令携带基板所需的显影时长和显影开始时刻；

确定模块，用于根据所述显影开始时刻和所述显示时长，确定第一补液时刻和第二补液时刻，所述第一补液时刻在所述显影开始时刻之前，所述第二补液时刻在所述显影开始时刻之后；

第一补液模块，用于在所述第一补液时刻，向显影槽注入第一预设浓度显影液，以增大所述显影槽内显影液的浓度；

显影模块，用于在所述显影开始时刻，将所述基板放入所述显影槽中进行显影；

第二补液模块，用于在显影过程中，在所述第二补液时刻，向所述显影槽注入第二预设浓度显影液，以减小所述显影槽内显影液的浓度。

7.根据权利要求6所述的基板显影装置，其特征在于，所述确定模块具体包括：

第一确定单元，用于根据所述显影开始时刻和第一预设差值，确定第一补液时刻；

第二确定单元，用于根据所述显影开始时刻和所述显影时长，确定显影结束时刻；

第三确定单元，用于根据所述显影结束时刻和第二预设差值，确定第二补液时刻。