[发明专利]面板清洗方法及清洗装置在审

专利信息
申请号: 201910278711.8 申请日: 2019-04-09
公开(公告)号: CN110052450A 公开(公告)日: 2019-07-26
发明(设计)人: 张以通 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: B08B5/02 分类号: B08B5/02;B08B1/00;B08B3/02;F26B21/00
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 清洗装置 清洗 异物 风刀 面板表面 面板清洗 预设 防止异物 毛刷清洗 清洗过程 粘合 吹风 刮伤 贴片 遇水
【说明书】:

发明提供一种面板清洗方法及清洗装置,所述方法包括:在对所述面板进入预设清洗过程前,对面板进行风刀清洗,以除去面板表面的异物。所述清洗装置包括风刀清洗装置,所述风刀清洗装置用于在所述面板进入后续清洗装置前,对所述面板进行风刀清洗,以清洗所述面板表面的异物。本发明所提供的面板清洗方法及清洗装置,通过在预设常规清洗流程前增加风刀清洗,对面板进行吹风清洗,先将面板表面的异物吹走,防止异物进入后续的毛刷清洗段,遇水后与面板粘合在一起,难以清除。增加的风刀清洗流程减少了异物进入面板后续的清洗流程中,减少了面板中异物的含量,改善了面板的贴片不良等问题,且也减少了异物对面板的刮伤问题。

技术领域

本发明涉及一种清洗领域,尤其涉及一种面板清洗方法及清洗装置。

背景技术

在液晶面板的制程中,切割是一个非常关键的工序,目前,业界普遍采用渗透式刀轮进行切割。渗透式刀轮具有锯齿状结构,刀轮被施加一定的压力经过玻璃表面时,刀轮在基板表面形成切割裂纹,裂纹进一步生长导致玻璃自然裂开,这是我们需要的结果。但是渗透式刀轮会对玻璃基板产生破坏,结果产生大量的玻璃屑,部分玻璃屑(如尺寸大于1微米但小于100微米的碎屑不可逆的粘附在面板表面和线路端上,这些大量且细小的玻璃碎屑有很高的刺伤面板表面和划断电极线路的风险,同时对后续的面板制程也是非常不利的。

目前,业界大部分液晶显示厂家的制程中都没有切割后立即对产品表面和线路端的玻璃碎屑进行清洗的工序,而是选择在制程中增加产品清洗次数来达到去除玻璃碎屑的目的。这种处理方法的缺点如下:制程中清洗工序压力增大,生产效率降低,清洗剂容易被污染而导致成本增加,同时产品经过多次清洗后,产品的可靠性得不到应有的保证。一些液晶面板厂家在切割玻璃基板后,在无尘室内使用砌墙人工单片吹淋产品,或者在车间与车间之间的传递窗内安装吹淋装置,搬用产品过程中对产品上的玻璃基板进行清洗。以上两种方法,前者的效率较低,控制精度较差,工艺管控难,同时还造成人力的浪费,还会导致无尘车间被扬起的玻璃碎屑所污染;后者的缺点是净房改造成本增加,设备故障维修不便,且玻璃碎屑清洗效果很难保证,玻璃碎屑进入无尘室空调循环系统,导致无尘室洁净度恶化。

发明内容

本发明提出一种面板清洗方法及清洗装置,增加了风刀清洗流程,减少了异物进入面板后续预设的清洗流程中,减少了面板中异物的含量,改善了面板的贴片不良等问题,且也减少了异物对面板的刮伤问题。

本发明针对现有技术下的面板清洗方法清洗面板异物的效果不好,仍有许多异物残留在面板上,使得面板不良产品比例大大提高的问题,第一方面,本申请提出一种面板清洗方法,所述方法包括:

在对所述面板进入预设清洗过程前,对面板进行风刀清洗,以除去面板表面的异物。

进一步的,所述方法还包括:在对面板进行风刀清洗之后,对所述面板进入预设清洗。

进一步的,所述对所述面板进入预设清洗过程,包括:

对所述面板进行毛刷清洗;

对所述面板进行研磨清洗;

对所述面板进行流体清洗;

对所述面板进行风刀吹干。

进一步的,所述对所述面板进行毛刷清洗包括:

对所述面板进行喷水润湿;

对所述面板进行毛刷清洗。

进一步的,所述对所述面板进行研磨清洗包括通过研磨带与所述面板表面进行摩擦,清洗所述面板表面异物。

进一步的,所述对所述面板进行流体清洗包括通过对所述面板进行流体冲击,清洗所述面板表面的异物。

进一步的,所述对所述面板进行风刀吹干包括通过风刀压缩空气来除去所述面板表面的水分。

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