[发明专利]液滴分注装置在审
申请号: | 201910279432.3 | 申请日: | 2019-04-08 |
公开(公告)号: | CN110369009A | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 山本浩;横山周平;北胁崇也 | 申请(专利权)人: | 东芝泰格有限公司 |
主分类号: | B01L3/02 | 分类号: | B01L3/02 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 田喜庆 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 液滴 液滴喷射部 分注装置 喷射 透明溶液 检查 载置部 控制器控制 控制器 接收部 接受层 喷出液 喷嘴组 透光性 校准 变色 滴落 载置 种液 着色 | ||
1.一种液滴分注装置,具备:
液滴喷射部,具有喷出液滴的喷嘴组,并向接收所述液滴的接收部喷射所述液滴;
检查介质载置部,载置检查介质,所述检查介质具有接受所述液滴的接受层且接受到具有透光性的所述液滴的地方着色或变色;以及
控制器,控制所述液滴喷射部,使得在喷射所述液滴之前向所述检查介质喷射所述液滴。
2.根据权利要求1所述的液滴分注装置,其中,
所述液滴分注装置具有图像拍摄部,所述图像拍摄部对形成在所述检查介质的接受到所述液滴的地方的着色的检查图案进行拍摄。
3.根据权利要求2所述的液滴分注装置,其中,
所述图像拍摄部具有传感器,所述传感器测量所述检查图案的直径、所述检查图案的面积和所述检查图案的外周长度中至少任一方。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的液滴分注装置,其中,
所述液滴喷射部具有:
基板,形成有压力室,所述压力室与所述喷嘴组的各喷嘴连通,并且形成所述液滴的液体填充于所述压力室的内部,所述基板具有第一面和第二面,所述第一面位于从所述喷嘴喷出所述液滴的一侧,所述第二面位于向所述压力室供给所述液体的一侧;
致动器,使所述压力室内的压力变化而使所述压力室内的所述液体从所述喷嘴喷出;以及
溶液保持容器,具有接收所述液体的液体接收口和作为所述液体的出口的液体出口,所述液体出口与所述压力室内连通,所述溶液保持容器配置于所述第二面。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的液滴分注装置,其中,
所述检查介质载置部以在与分注从所述液滴喷射部喷出的液滴的分注部不同的位置上独立设置的方式、在与所述分注部相同的位置上能够与所述分注部互换的方式和叠置在所述分注部之上的方式中任一种方式而设置。
6.根据权利要求4所述的液滴分注装置,其中,
所述检查介质载置部以在与分注从所述液滴喷射部喷出的液滴的分注部不同的位置上独立设置的方式、在与所述分注部相同的位置上能够与所述分注部互换的方式和叠置在所述分注部之上的方式中任一种方式而设置。
7.根据权利要求4所述的液滴分注装置,其中,
所述致动器为压电方式的致动器。
8.根据权利要求4所述的液滴分注装置,其中,
所述致动器为热喷射方式的致动器。
9.根据权利要求4所述的液滴分注装置,其中,
所述液体接收口的开口面积大于所述液体出口的开口面积。
10.根据权利要求1所述的液滴分注装置,其中,
所述检查介质载置部具有用于将所述检查介质固定于所述检查介质载置部的检查介质保持部件。
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