[发明专利]一种超声阵列检测物件平整度的测量方法与装置

权利要求书

1.一种超声阵列检测物件平整度的测量装置，其特征在于，包括：超声发射模块(1)、平整度检测模块(2)、物件夹紧座(3.13)和系统控制显示模块(4)；

所述平整度检测模块(2)包括：

设置于所述超声发射模块(1)的反射侧的第一圆盘(2.1)；

放置于所述第一圆盘(2.1)内的第一小球(2.2)；

设置于所述第一圆盘(2.1)，用于检测所述第一小球(2.2)沿所述第一圆盘(2.1)内壁旋转的圈数的第一光电传感器(2.3)，所述第一光电传感器(2.3)通讯连接于所述系统控制显示模块(4)。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述超声发射模块(1)包括：球面形基板(1.2)和多个超声传感器(1.1)；多个所述超声传感器(1.1)均匀分布于所述球面形基板(1.2)的凹面。

3.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述第一圆盘(2.1)设置于所述球面形基板(1.2)中轴线的一侧；

所述平整度检测模块(2)还包括：

设置于所述球面形基板(1.2)中轴线的另一侧的第二圆盘(2.11)；

放置于所述第二圆盘(2.11)内的第二小球(2.21)；

设置于所述第二圆盘(2.11)，用于检测所述第二小球(2.21)沿所述第二圆盘(2.11)内壁旋转的圈数的第二光电传感器(2.31)，所述第二光电传感器(2.31)通讯连接于所述系统控制显示模块(4)。

4.根据权利要求3所述的测量装置，其特征在于，所述第一小球(2.2)和/或第二小球(2.21)的材料为聚苯乙烯；所述第一圆盘(2.1)和/或第二圆盘(2.11)的材料为聚乙烯或聚氯乙烯或聚对苯二甲酸乙二酯。

5.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，还包括：

用于带动所述物件夹紧座(3.13)在垂直于所述球面形基板(1.2)中轴线的平面内移动的待检测物件移动模块(3)。

6.根据权利要求5所述的测量装置，其特征在于，所述待检测物件移动模块(3)包括Y轴移动平台和X轴移动平台；所述X轴移动平台设置于所述Y轴移动平台；所述物件夹紧座(3.13)设置于所述X轴移动平台；

所述Y轴移动平台包括Y轴驱动底板(3.5)、Y轴步进电机(3.1)和Y轴丝杠组件；所述Y轴步进电机(3.1)连接于所述Y轴丝杠组件；所述Y轴丝杠组件设置于所述Y轴驱动底板(3.5)；

所述X轴移动平台包括X轴步进电机(3.6)、X轴丝杠支撑(3.10)和X轴丝杠组件；所述X轴步进电机(3.6)和所述X轴丝杠支撑(3.10)均固定于所述Y轴驱动底板(3.5)；所述X轴步进电机(3.6)连接于所述X轴丝杠组件；所述X轴丝杠组件设置于所述物件夹紧座(3.13)。

7.一种超声阵列检测物件平整度的测量方法，其特征在于，采用如权利要求1-6任意一项所述的测量装置，包括：

步骤S1、超声发射模块(1)向待检测物件(3.15)发射声波；

步骤S2、第一光电传感器(2.3)检测第一小球(2.2)沿第一圆盘(2.1)内壁旋转的圈数，并将检测到的数据发送至系统控制显示模块(4)；

步骤S3、控制待检测物件移动模块(3)带动所述待检测物件(3.15)进行若干次同方向、同距离的移动，并在每次移动后重复所述步骤S1和S2；

步骤S4、所述系统控制显示模块(4)根据所述第一光电传感器(2.3)的测到数据得到所述第一小球(2.2)的旋转速度，并判断所述第一小球(2.2)在相邻两个检测位置的旋转速度的差值的绝对值是否在第一预设平整度误差允许范围内，若是，则平整度合格；若否，则平整度不合格。