[发明专利]用于压缩和解压缩驱动曲线的方法和设备、扫描系统有效

专利信息
申请号: 201910280461.1 申请日: 2019-04-09
公开(公告)号: CN110365343B 公开(公告)日: 2023-07-14
发明(设计)人: C·韦赫 申请(专利权)人: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
主分类号: H03M7/30 分类号: H03M7/30
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 黄纶伟;李辉
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 压缩 和解 驱动 曲线 方法 设备 扫描 系统
【权利要求书】:

1.一种用于压缩扫描装置的驱动曲线的由计算机辅助的方法,该方法包括以下步骤:

将针对所述扫描装置的驱动曲线(30、60)细分成区段(s0-s7、s00-s7);并且对于各个区段:

检查库中是否存在与所述区段中的相应区段对应的区段,

如果所述库中不存在对应的区段,则将所述对应的区段作为与所述相应区段对应的对应区段并入到所述库中,并且

当所述对应的区段存在于库中时,或者在将所述对应的区段作为与所述相应区段对应的对应区段并入到所述库中之后,将指示所述库中的该对应区段的指针并入到指针列表中,

其中,所述扫描装置被配置为由基于所述驱动曲线的电压或电流来控制。

2.根据权利要求1所述的方法,其中,如果所述库中存在与所述相应区段相同的区段,则所述库中存在对应区段。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其中,如果所述库中存在与所述相应区段相差不超过预定度量的区段,则所述库中存在对应区段。

4.根据权利要求1或2所述的方法,其中,如果所述库中存在能够变换成所述相应区段的区段,则所述库中存在与所述相应区段对应的区段,其中,将指向所述对应区段的指针并入到所述指针列表中的步骤另外包括将定义所述库中的所述对应区段到所述相应区段的变换的一个或更多个变换参数并入到所述指针列表中。

5.根据权利要求4所述的方法,其中,至少一个变换参数包括从所述库读出所述对应区段的读出方向。

6.根据权利要求4所述的方法,其中,至少一个变换参数包括符号,连同该符号来提供所述库中的由所述指针指示的区段。

7.根据权利要求4所述的方法,其中,至少一个变换参数包括所述库中的由所述指针指示的区段的偏移和/或缩放因数。

8.根据权利要求1所述的方法,其中,所述方法被应用于多个驱动曲线。

9.根据权利要求8所述的方法,其中,所述库是用于所述多个驱动曲线的共享库。

10.根据权利要求8或9所述的方法,其中,所述指针列表是对于各驱动曲线单独创建的。

11.根据权利要求1所述的方法,其中,所述区段以数据包的形式存储在所述库中。

12.一种计算机可读存储介质,该计算机可读存储介质存储计算机软件程序,所述计算机软件程序在计算装置上执行时执行如权利要求1至11中任一项所述的方法。

13.一种用于压缩扫描装置的驱动曲线的设备,该设备包括计算装置(12、13),该计算装置被构造为进行根据权利要求1至11中任一项所述的方法。

14.一种扫描系统,该扫描系统包括:

扫描装置,该扫描装置用于扫描样本;和

至少一个根据权利要求13所述的设备。

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