[发明专利]喷射材料注入方法、喷射材料喷射装置和压印装置

说明书

本发明涉及喷射材料注入方法、喷射材料喷射装置和压印装置。通过管将喷射材料注入容器中。此后，所述管在被闭塞部分处被闭塞，然后所述管被截断。所述管被截断使得所述被闭塞部分包括在所述管的连接到所述容器的部分中。

技术领域

本发明涉及一种用于液体或液体状喷射材料的注入方法和喷射装置，以及包括该喷射装置的压印装置。

背景技术

日本专利No.5761334描述了一种将液体注入管插入闭塞液盒的容器开口的弹性塞中的方法，以便将液体(喷射材料)注入容器中，液体从喷射头中喷射。在通过注入管将液体注入容器之后，将注入管从塞中拔出。

近年来，设计用于使其上具有图案的模具与施加到基板上的压印材料接触并且因此将模具上的形状转印到压印材料上以在其上形成图案的压印装置已经实际应用于半导体器件等的制造工艺中。为了将压印材料施加到基板上，这种压印装置使用配置成将容纳在容器中的压印材料从喷射头喷射的喷射装置等。要作为喷射材料从喷射头喷射的压印材料需要具有高清洁度。

日本专利No.5761334中描述的注入液体的方法具有这样的风险：当将注入管插入容器上的塞以及将注入管从塞中拔出时，允许在外部空间中漂浮的异物进入容器。此外，还存在由容器上的塞和注入管之间的摩擦产生的另一异物进入液体的风险。由于这些原因，通过日本专利No.5761334中描述的注入方法，无法将要求具有高清洁度的喷射材料(例如压印材料)注入容器中。

发明内容

本发明提供一种喷射材料注入方法、喷射材料喷射装置和压印装置，它们能够将需要具有高清洁度的喷射材料(诸如压印材料)注入容器中而不会对喷射材料造成污染。

在本发明的第一方面中，提供了一种喷射材料注入方法，该方法将喷射材料注入喷射装置中的容器中，该喷射装置能够将容器中的喷射材料从喷射头喷射，该方法包括：

连接步骤，其通过使用管将所述容器和构造成容纳喷射材料的储料箱彼此连接；

注入步骤，其通过所述管将所述储料箱中的喷射材料注入所述容器中；

闭塞步骤，其在所述注入步骤之后，在所述管连接在所述储料箱和所述容器之间的状态下闭塞所述管；以及

截断步骤，其在所述闭塞步骤之后截断所述管，使得所述管分隔成连接到所述容器的第一部分和连接到所述储料箱的第二部分，并且所述管的在所述闭塞步骤中闭塞的被闭塞部分包括在所述第一部分中。

在本发明的第二方面中，提供一种喷射材料喷射装置，该装置包括：

容器，其构造成容纳喷射材料；

喷射头，其能够喷射所述容器中的喷射材料；

管，其连接到所述容器，以便将喷射材料注入所述容器中；以及罩，其构造成覆盖所述管，其中，

所述管包括被闭塞部分和截断部分，所述被闭塞部分在喷射材料注入所述容器之后被闭塞，并且所述截断部分以保持所述被闭塞部分的方式被截断。

在本发明的第三方面中，提供一种压印装置，其构造成通过将模具的图案转印到施加到基板的压印材料上来处理所述基板，该压印装置包括：

压印材料喷射装置，其构造成从喷射头喷射容器中的压印材料，以将压印材料施加到基板上，其中，

所述压印材料喷射装置包括管和罩，所述管连接到所述容器以便将压印材料注入所述容器中，并且所述罩构造成覆盖所述管，并且

所述管包括被闭塞部分和截断部分，所述被闭塞部分在压印材料注入所述容器之后被闭塞，并且所述截断部分以保持所述被闭塞部分的方式被截断。

根据本发明，通过管将喷射材料注入容器中，然后闭塞并且截断管。因此，可以将喷射材料注入容器中而不会污染喷射材料。