[发明专利]一种用于硅基空间光调制器的测试芯片

权利要求书

1.一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，包括依次层叠的硅基底层、第一液晶配位层、液晶层、第二液晶配位层和ITO玻璃层，其特征在于，其中，将硅基底层上的像素电极层在有效显示区域划分为若干种测试区域，每种测试区域包括至少一个测试单元，每种测试区域具有不同的测试图案或测试电路。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，其特征在于，其中一种测试区域中的各测试单元具有若干种不同线宽和/或排列的像素图案。

3.根据权利要求2所述的一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，其特征在于，所述像素图案形成光栅。

4.根据权利要求2所述的一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，其特征在于，通过所述像素图案测试或计算出以下至少一个参数或参数关系：液晶光栅的边缘场效应、衍射效率、相位阶跃反转区、衍射效率和光栅尺寸与间距的关系。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，其特征在于，其中一种测试区域中的测试单元含有设定面积的像素金属层。

6.根据权利要求5所述的一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，其特征在于，通过所述测试单元测试出以下至少一个参数：液晶等效电容、寄生电容、电压保持率、直流残余电压、噪声。

7.根据权利要求5所述的一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，其特征在于，通过所述测试单元测试芯片灌晶后不同芯片区域的盒厚均匀度、图像对比度和噪声，或通过所述测试单元测试芯片灌晶后不同的液晶注入工艺对液晶盒子效果的影响。

8.根据权利要求5所述的一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，其特征在于，该种测试区域中的测试单元分别设置在芯片的液晶注入口、芯片中心和芯片的四个角落处。

9.根据权利要求1所述的一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，其特征在于，其中一种测试区域中的测试单元为实际芯片电路和测试电路。

10.根据权利要求1所述的一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，其特征在于，每种测试区域或每种测试区域内每个测试单元同时或单独施加驱动电压测试。