[发明专利]一种多晶硅硅芯焊接系统及其使用方法有效
申请号: | 201910283928.8 | 申请日: | 2019-04-10 |
公开(公告)号: | CN109850903B | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 杨明财;丁小海;宗冰 | 申请(专利权)人: | 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人: | 李树志 |
地址: | 810007 青海省*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 硅硅芯 焊接 系统 及其 使用方法 | ||
本发明属于多晶硅生产技术领域,尤其涉及一种多晶硅硅芯焊接系统及其使用方法。一种多晶硅硅芯焊接系统,所述的系统包括带有漏斗颈(3)的漏斗(1)、加热线圈(2)、气体喷嘴(7)和若干夹持器(8);加热线圈(2)设置于漏斗(1)下部外围;气体喷嘴(7)设置于漏斗颈(3)下方;夹持器(8)设置于漏斗(1)和气体喷嘴(7)之间,夹持器(8)分别与传动机构相连,夹持器(8)可沿轴向和径向运动;所述的焊接系统置于洁净环境。本发明的优点:结构简单,易于实现;硅芯焊接可靠、效率高;焊接的硅芯无污染、平直;焊接头平整;断裂或/和长度不够的硅芯重新利用,提高了切割收率,降低生产成本。
技术领域
本发明属于多晶硅生产技术领域,尤其涉及一种多晶硅硅芯焊接系统及其使用方法。
背景技术
目前,多晶硅的生产方法主要采用改良西门子法,其主要是在还原炉中使硅芯发生还原反应生产多晶硅。其原理是:硅芯还原反应是在一个密闭的还原炉中进行,在装炉前在还原炉内部电极上,用硅芯及横梁搭接成若干个回路,每个回路都由两根竖硅芯和一根横硅芯组成。每一个回路的两个竖硅芯分别接在炉底上的两个电极上,硅芯通电加热形成发热体,向密闭的还原炉内通入氢气和三氯氢硅,反应气体在硅芯表面受热进行还原反应。由此,所需的多晶硅就会在硅芯表面沉积。
该方法中,组合成回路的硅芯都是由原始多晶硅棒通过切割为特定的长度,否则无法装载于还原炉中。在使用原生多晶硅棒切割获得硅芯的工艺过程中,由于受应力、刀具、卡具等因素的影响,部分硅芯发生断裂,长度达不到装载于还原炉中要求,无法使用。此外。随着多晶硅生产技术的不断发展,还原炉从径向及高度方面不断增长,衍生出超4m高度的大型还原炉,相应的硅芯高度也要求达到4m。目前切割的硅芯一般在3m左右,满足不了大型还原炉硅芯的要求。
硅芯的生产工艺决定了硅芯的高成本,不对断裂的硅芯进行再次利用,将其当成废料出售,而废料的售出价格较低,会增加的生产成本。因此,如何将断裂的硅芯进行合理的再次利用,如何延长硅芯,提高生产效益,成为硅芯生产乃至多晶硅生产的难题,对硅芯焊接的研究刻不容缓。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明提供一种多晶硅硅芯焊接系统及其使用方法,该系统可将多晶硅断裂硅芯进行连接修复,使得修复后的硅芯可再次用作制备多晶硅,从而极大地减少了硅芯的浪费,提升还原炉生产产量。
本发明解决上述技术问题的技术方案如下:
一种多晶硅硅芯焊接系统,所述的系统包括带有漏斗颈3的漏斗1、加热线圈2、气体喷嘴7和若干夹持器8;加热线圈2设置于漏斗1下部外围;气体喷嘴7设置于漏斗颈3下方;夹持器8设置于漏斗1和气体喷嘴7之间,夹持器8分别与传动机构相连,夹持器8可沿轴向和径向运动;
所述的焊接系统置于洁净环境。
进一步的,所述的系统还包括设置于气体喷嘴7上方的石英护管9。
进一步的,所述的加热线圈2为高频加热线圈,其加热功率可调。
进一步的,所述的加热线圈2可由等离子热炬或电弧加热器替换。
本发明还提供一种多晶硅硅芯焊接系统焊接硅芯的方法。
一种多晶硅硅芯焊接方法,所述的方法包括以下步骤:
硅芯倒角:将待焊接硅芯6沿短轴截面倒角,倒角截面角度≤30°;
夹持共轴:倒角后的两块硅芯6由夹持器8分别加持后共轴,两块硅芯6尖角接触,并使接触部位位于气体喷嘴7方向;
硅料熔融:漏斗1内的颗粒硅料4经加热线圈2加热熔融,经漏斗颈3向下滴流至两块硅芯6空隙处;气体喷嘴7喷出惰性气体冷却、凝固滴至两块硅芯6空隙处硅料熔融液5,完成硅芯焊接。
进一步的,所述的硅芯6横截面为任意形状。
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