[发明专利]电子束蒸镀器和用于借助电子束对蒸镀物进行蒸镀的方法

权利要求书

1.一种电子束蒸镀器(100)，用于对蒸镀物进行蒸镀，所述电子束蒸镀器(100)具有：

·用于产生电子束(102e)的电子束源(102q)；

·用于偏转所述电子束(102e)的偏转设备(102a)；

·具有穿通开口(104d)的环形坩埚(104)；

·棒(106)，其至少分部段地设置在所述穿通开口(104d)中并且具有蒸镀物(106g)，其中所述棒(106)的外棱边(106a)与所述环形坩埚(104)的内棱边(104i)邻接，使得在所述环形坩埚的内棱边(104i)与棒的外棱边(106a)之间保持间隙(101s)；以及

·控制设备(108)，用于借助偏转设备(102a)控制对电子束的偏转，其中所述控制设备(108)配置为，借助电子束(102e)产生第一偏转模式(118a)和第二偏转模式(118b)，其中第一偏转模式(118a)具有比第二偏转模式(118b)更小的功率密度，其中第一偏转模式(118a)至少在棒(106)上产生并且其中第二偏转模式(118b)在棒(106)的外棱边(106a)的部段(106a-k)上和在环形坩埚(104)的内棱边(104i)的部段(104i-k)上产生。

2.根据权利要求1所述的电子束蒸镀器(100)，

其中，所述环形坩埚(104)的内棱边(104i)沿着在环形坩埚(104)的露出的环形端面(104s)与环形坩埚(104)的内壁部(104w)之间的剖切线伸展，以及

其中，所述棒(106)的外棱边(106a)沿着在棒(106)的露出的端面(106s)与棒(106)的外壁部(106w)之间的剖切线伸展。

3.根据权利要求1或2所述的电子束蒸镀器(100)，此外具有：

推进设备(116)，其配置为，棒(106)借助推进设备(116)以预定义的速度V_Stab能够推移穿过环形坩埚(104)的穿通开口(104d)中。

4.根据权利要求3所述的电子束蒸镀器(100)，

其中，推进设备配置为，预定义的速度(V_Stab)在每分钟0.1毫米到每分钟10毫米的范围中。

5.根据权利要求3所述的电子束蒸镀器(100)，

其中，所述控制设备(108)配置为，在预定义的持续时间内在棒(106)的外棱边(106a)的每个部段(106a-k)上和在环形坩埚(104)的内棱边(104i)的每个部段(104i-k)上产生第二偏转模式(118b)至少一次。

6.根据权利要求5所述的电子束蒸镀器(100)，

其中，预定义的持续时间在0.1分钟到60分钟的范围中。

7.根据权利要求5所述的电子束蒸镀器(100)，

其中，所述预定义的持续时间在0.1mm/V_Stab到50mm/V_Stab的范围中。

8.根据权利要求1或2所述的电子束蒸镀器(100)，

其中，第二偏转模式(118b)具有至少一个电子束斑点(118s)，其不仅在棒(106)的外棱边(106a)的部段(106a-k)上而且在环形坩埚(104)的内棱边(104i)的部段(104i-k)上。

9.根据权利要求1或2所述的电子束蒸镀器(100)，

其中，棒(106)的外棱边(106a)的部段(106a-k)具有小于整个外棱边(106a)的25％的分量和其中环形坩埚(104)的内棱边(104i)的部段(104i-k)具有小于整个内棱边(104i)的25％的分量。

10.根据权利要求1或2所述的电子束蒸镀器(100)，

其中，控制设备(108)配置为，第一偏转模式(118a)相继地形成n次并且接着第二偏转模式(118b)相继形成m次，其中n和m分别是自然数。