[发明专利]逆功率降低方法及利用其的等离子电力装置

权利要求书

1.一种逆功率降低方法，用于降低从等离子负载向高频电力放大部反射的逆功率，其中，包括：

输出频率倾斜度判断步骤，控制器判断从上述高频电力放大部输出的输出频率倾斜度的符号；

逆功率倾斜度判断步骤，上述控制器判断从上述等离子负载向上述高频电力放大部反射的逆功率倾斜度的符号；

频率变化量增减决定步骤，上述控制器根据上述输出频率倾斜度的符号与上述逆功率倾斜度的符号的组合来决定频率变化量的增减；

更新步骤，上述控制器利用上述频率变化量来更新上述输出频率；以及

输出频率变更步骤，若反射系数大于规定反射基准值且上述频率变化量小于规定的变动幅度设定值，则上述控制器为了脱离驼峰而变更上述输出频率，

其中，在上述输出频率变更步骤中，若通过进行增加或减少上述输出频率的步骤而使上述反射系数小于上述规定反射基准值且上述频率变化量大于上述规定的变动幅度设定值，则上述控制器判断上述输出频率达到最佳频率并停止对上述脱离驼峰的尝试，其中，

若上述输出频率倾斜度的符号与上述逆功率倾斜度的符号的乘积为正数，则上述控制器减少上述频率变化量，

若上述输出频率倾斜度的符号与上述逆功率倾斜度的符号的乘积为负数，则上述控制器增加上述频率变化量。

2.根据权利要求1所述的逆功率降低方法，其中，上述频率变化量的增加/减少份通过上述反射系数和/或上述逆功率倾斜度来决定。

3.一种降低逆功率的等离子电力装置，

包括：

高频电力放大部，被放大控制信号控制并放大规定等级的直流电压来生成脉冲波形的高频信号；

阻抗匹配器，被匹配频率控制信号控制来以规定的匹配频率匹配上述高频电力放大部与负载之间的阻抗；

射频传感器，在上述高频电力放大部与上述阻抗匹配器之间检测正向及逆向电信号来输出电检测信号；以及

控制器，利用从外部施加的控制信号与从上述射频传感器输出的电检测信号生成上述放大控制信号及匹配频率控制信号，

在上述控制器中，判断从上述高频电力放大部输出的输出频率倾斜度的符号，判断从上述等离子负载向上述高频电力放大部反射的逆功率倾斜度的符号，根据上述输出频率倾斜度的符号与上述逆功率倾斜度的符号的组合决定频率变化量的增减，利用上述频率变化量更新上述输出频率，若反射系数大于规定的反射基准值且上述频率变化量小于规定的变动幅度设定值，则为了脱离驼峰而变更上述输出频率，

其中，在上述输出频率变更步骤中，若通过进行增加或减少上述输出频率的步骤而使上述反射系数小于上述规定的反射基准值且上述频率变化量大于上述规定的变动幅度设定值，则上述控制器判断上述输出频率达到最佳频率并停止对上述脱离驼峰的尝试，其中，

若上述输出频率倾斜度的符号与上述逆功率倾斜度的符号的乘积为正数，则上述控制器减少上述频率变化量，

若上述输出频率倾斜度的符号与上述逆功率倾斜度的符号的乘积为负数，则上述控制器增加上述频率变化量。

4.根据权利要求3所述的降低逆功率的等离子电力装置，其中，上述频率变化量的增加/减少份通过上述反射系数和/或上述逆功率倾斜度来决定。