[发明专利]一种应用于五金表面的纳米薄涂层制作工艺在审
| 申请号： | 201910284710.4 | 申请日： | 2019-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN109957763A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 陈杰锋;杨亚军 | 申请（专利权）人： | 深圳市旺鑫精密工业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/06 |
| 代理公司： | 深圳市查策知识产权代理事务所(普通合伙) 44527 | 代理人： | 曾令安 |
| 地址： | 518111 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 胚料 真空热压炉 制作工艺 烧结 薄涂层 五金 真空干燥处理 电子束设备 金属工件 抗刮性能 涂层表面 五金工件 真空熔炼 冷压制 圆柱状 沉积 放入 应用 蒸发 | ||
1.一种应用于五金表面的纳米薄涂层制作工艺，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一，将粒度为0.3-0.5um的3C-SiC粉末冷压制成圆柱状胚料；
步骤二，将步骤一制得的胚料在真空热压炉中进行烧结；
步骤三；将真空热压炉中烧结后的胚料进行真空干燥处理；
步骤四；将第三步处理后的胚料放入电子束设备中进行真空熔炼，使胚料通过蒸发的方式沉积于金属工件上。
2.根据权利要求1所述的一种应用于五金表面的纳米薄涂层制作工艺，其特征在于，步骤二中，真空热压炉的烧结温度为700℃-1100℃，烧结压力为900-1000 MPa，烧结时间为1-1.5H。
3.根据权利要求1所述的一种应用于五金表面的纳米薄涂层制作工艺，其特征在于，步骤三中，真空干燥处理时的温度为300℃-350℃。
4.根据权利要求1所述的一种应用于五金表面的纳米薄涂层制作工艺，其特征在于：所述电子束设备设有能够水平旋转的工件支架及用于输送胚料的送料装置，所述电子束设备包括多个用于发射电子束的电子枪，所述多个电子枪分别向所述胚料及金属工件发射电子束。
5.根据权利要求4所述的一种应用于五金表面的纳米薄涂层制作工艺，其特征在于:所述电子枪的数量为6个，其中4个电子枪用于向胚料发射电子束，另外2个电子枪用于向金属工件发射电子束。
6.根据权利要求4所述的一种应用于五金表面的纳米薄涂层制作工艺，其特征在于:所述电子枪的功率为60KW，电压为25KV，电子束流为2-3A。
7.根据权利要求4所述的一种应用于五金表面的纳米薄涂层制作工艺，其特征在于：所述工件支架由石墨制成。
8.根据权利要求1所述的一种应用于五金表面的纳米薄涂层制作工艺，其特征在于:所述3C-SiC粉末的纯度为99.5％-99.9％。
9.根据权利要求1所述的一种应用于五金表面的纳米薄涂层制作工艺，其特征在于:所述圆柱状胚料的直径为98mm，长度为100mm。
10.根据权利要求1所述的一种应用于五金表面的纳米薄涂层制作工艺，其特征在于:所述胚料和金属工件的间距为130mm-150mm。
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