[发明专利]一种双掺杂铜锌锡硫薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种双掺杂铜锌锡硫薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：将含锡化合物、含铜化合物、含锌化合物和含第一掺杂金属化合物溶于第一有机溶剂中，进行第一超声处理，得到第一溶液；

步骤2：将含第二掺杂金属化合物和含硫化合物溶于第二有机溶剂中，进行第二超声处理，得到第二溶液；

步骤3：将所述第一溶液和所述第二溶液混合后进行第三超声处理，得到前驱体溶胶；

步骤4：将所述前驱体溶胶旋凃到衬底上，微波加热后进行硫化，得到双掺杂铜锌锡硫薄膜；

所述含第一掺杂金属化合物中的第一掺杂金属为锰、镉、铁、镁或钴，所述含第二掺杂金属化合物中的第二掺杂金属为银或锂。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述微波加热的时间为10～30min。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一超声处理的温度为60～80℃，所述第一超声处理的时间为1.5h～3h；

所述第二超声处理的温度为60～80℃，所述第二超声处理的时间为1.5h～3h。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第三超声处理的温度为60～80℃，所述第三超声处理的时间为10min～20min。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述前驱体溶胶中所述第一掺杂金属原子数量与所述第一掺杂金属原子和含铜化合物中铜原子总原子数量的比例为1：3～3：3。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述前驱体溶胶中所述第二掺杂金属原子数量与所述第二掺杂金属原子和所述含锌化合物中锌原子总原子数量的比例为1：3～3：3。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述衬底选自镀氟掺杂二氧化锡的钠钙玻璃、镀钼的钠钙玻璃、钠钙玻璃或镀氧化铟锡的钠钙玻璃。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤1所述含第一掺杂金属化合物的浓度为0～7.23×10^-4mol/L，所述含铜化合物的浓度为0～1.15×10^-3mol/L，所述含锌化合物浓度为0～7.23×10^-4mol/L，所述含锡化合物的浓度为6.0～7.0×10^-4mol/L。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤2中所述含第二掺杂金属化合物的浓度为0～7.66×10^-4mol/L，所述含硫化合物的浓度为3.0～4.0×10^-3mol/L。

10.权利要求1至9任意一项所述的制备方法制得的双掺杂铜锌锡硫薄膜。