[发明专利]一种钛合金表面的TiAlN复合涂层及其制备方法有效
申请号: | 201910285352.9 | 申请日: | 2019-03-29 |
公开(公告)号: | CN109913796B | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 孙志平;田晓东;李玉琴;吴文清 | 申请(专利权)人: | 长安大学 |
主分类号: | C23C12/00 | 分类号: | C23C12/00;C23C10/48;C23C8/36 |
代理公司: | 西安睿通知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 61218 | 代理人: | 惠文轩 |
地址: | 710061 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 钛合金 表面 tialn 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
1.一种钛合金表面的TiAlN复合涂层,其特征在于,包括在钛合金基体表面依次生长的渗铝层和Ti1-xAlxN层,其中,0.25≤x≤0.5;所述渗铝层的物相为Ti3Al或TiAl中的一种或多种;
所述渗铝层的厚度为6-15μm,所述TiAlN表层的厚度为4-10μm。
2.一种钛合金表面的TiAlN复合涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1,将粗品钛合金基体进行预处理,得钛合金基体;将钛合金基体置于包埋渗剂中进行包埋,得包埋基体,将包埋基体置于气氛炉中进行渗铝处理,得渗铝层;
步骤2,将渗铝层置于双辉离子渗氮炉内,先进行离子轰击清洗,再进行渗氮处理,得到钛合金表面的TiAlN复合涂层。
3.根据权利要求2所述的钛合金表面的TiAlN复合涂层的制备方法,其特征在于,步骤1中,所述包埋渗剂包含铝粉、氟化物粉和氧化铝粉;其中,所述氟化物粉为氟化钠粉或氟化铵粉。
4.根据权利要求3所述的钛合金表面的TiAlN复合涂层的制备方法,其特征在于,步骤1中,所述包埋渗剂的原料质量占比为:铝粉10%,氟化物粉1-3%,余量为氧化铝粉。
5.根据权利要求2所述的钛合金表面的TiAlN复合涂层的制备方法,其特征在于,所述包埋为将钛合金基体埋入装有包埋渗剂的容器中,采用粘接剂密封容器。
6.根据权利要求5所述的钛合金表面的TiAlN复合涂层的制备方法,其特征在于,所述粘接剂由硅溶胶和刚玉粉按质量比1:5混合制得。
7.根据权利要求2所述的钛合金表面的TiAlN复合涂层的制备方法,其特征在于,步骤1中,所述渗铝处理的压力不小于5×103Pa,渗铝处理的加热速率为6℃/min,渗铝处理的温度为700-900℃,渗铝处理的时间为2-5h。
8.根据权利要求2所述的钛合金表面的TiAlN复合涂层的制备方法,其特征在于,步骤2中,所述离子轰击清洗的气源为氩气,离子轰击清洗的压力不小于20Pa,离子轰击清洗的电流为1-1.5A,离子轰击清洗的温度为500-600℃,离子轰击清洗的时间为30-60min。
9.根据权利要求2所述的钛合金表面的TiAlN复合涂层的制备方法,其特征在于,步骤2中,所述渗氮处理的氮源气体流量为0.10-0.26L/min,渗氮处理的辉光离子电流为1.5-2A,渗氮处理的温度700-900℃,渗氮处理的时间为1-2h。
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