[发明专利]一种碱性蚀刻液再生及其铜回收方法有效
申请号: | 201910285497.9 | 申请日: | 2019-04-10 |
公开(公告)号: | CN109881200B | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 方红珍;赵寿波 | 申请(专利权)人: | 深圳市铿东科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C25C1/12;C25C7/06;C23G3/00 |
代理公司: | 广东东莞市中晶知识产权代理事务所(普通合伙) 44661 | 代理人: | 张海英 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 碱性 蚀刻 再生 及其 回收 方法 | ||
1.一种碱性蚀刻液再生及其铜回收方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)蚀刻废液产生:由蚀刻生产线产生的蚀刻废液储存于废液收集槽中,废液收集槽中的蚀刻废液添加至循环冷凝槽中,循环冷凝槽中的蚀刻废液添加至电解槽中;
(2)电解:由电解槽对蚀刻废液进行电解,在阴极板表面上沉积铜层,获得阴极铜板,同时,产生的再生液在液位高于预设值时流回至循环冷凝槽中;
在所述步骤(2)中,电解槽两端内侧分别形成有供阴极板端部由上至下插入的两个纵向条形插槽,且该两个纵向条形插槽分布于电解槽端部的两侧边上,阴极板两端插入纵向条形插槽中之后,阴极板外侧面与电解槽内壁相靠近贴合,则电解时铜层只沉积于阴极板的内侧表面上;
(3)再生液收集与调配:将循环冷凝槽中的再生液收集至再生液收集槽中,然后对再生液收集槽中的再生液进行Cu2+、NH4+、Cl-与pH 值化验,根据化验结果确定所需添加的氨与氯化铵的量,使形成的蚀刻再生液符合蚀刻需求,再回流至蚀刻生产线中使用,与 此同时执行步骤(4);
(4)酸洗:将阴极铜板移至酸性中和槽中,酸性中和槽中的酸性溶液将阴极铜板表面残留的碱性液体中和掉;
(5)一道水洗:将阴极铜板移至一道水洗槽中,一道水洗槽中的清水将阴极铜板表面残留的酸性液体清洗掉;
(6)抗氧化:将阴极铜板移至抗氧化槽中,抗氧化槽中的抗氧化剂溶液对阴极铜板表面进行抗氧化处理,在阴极铜板表面附着一抗氧化层,最后将附着有抗氧化层的阴极铜板移出,并将铜从阴极板上拆下即可。
2.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液再生及其铜回收方法,其特征在于,所述步骤(6)还包括以下步骤:在阴极铜板经过抗氧化槽的开口处时,由开口处风刀上的条形出风口吹出高速风,将阴极铜板表面吹干。
3.根据权利要求2所述的碱性蚀刻液再生及其铜回收方法,其特征在于,在所述步骤(6)中,开口处风刀上的条形出风口以向下倾斜20-40°的方向吹出高速风。
4.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液再生及其铜回收方法,其特征在于,所述步骤(5)还包括以下步骤:对一道水洗后的阴极铜板移至二道水洗槽中,二道水洗槽中的清水对阴极铜板表面进行二次水洗。
5.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液再生及其铜回收方法,其特征在于,所述步骤(2)还包括以下步骤:将电解过程中的电解液通入检测缸中,由检测缸中的比重计对电解液进行比重检测,根据检测结果分析出电解液中铜离子含量,若分析出铜离子含量低于25-35g/L时,则控制水泵往电解槽中添加蚀刻废液,直到比重计检测分析出的铜离子含量在25-35g/L范围内。
6.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液再生及其铜回收方法,其特征在于,在所述步骤(1)中,循环冷凝槽内部通过一隔板隔开,形成一废液槽与一再生液槽,废液收集槽中的蚀刻废液添加至废液槽中冷却,电解时产生的再生液回流至再生液槽中冷却;当再生液槽中的液位计检测到再生液槽中液体达到一定水位后,将再生液槽中的再生液抽到再生液收集槽中进行调配。
7.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液再生及其铜回收方法,其特征在于,在所述步骤(4)中,酸性中和槽中的酸性溶液为弱硫酸。
8.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液再生及其铜回收方法,其特征在于,所述步骤(2)还包括以下步骤:电解完之后,将电解槽内的电解液抽走,然后,采用外部抽风机通过电解槽内底部的抽气孔将电解槽内的有害气体抽出收集起来,同时,由外部鼓风机通过电解槽内底部的进气管上的数个进气孔将外部新鲜的空气带入电解槽内,形成空气循环。
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