[发明专利]一种动态相位变形干涉测量装置及方法

权利要求书

1.一种动态相位变形干涉测量装置，其特征在于，包括：

泰曼-格林式干涉测量系统(26)，用于产生一对正交偏振光，所述正交偏振光包括s波和p波；

参考光路(27)，用于产生参考光；

测试光路(28)，用于产生测试光；

分光系统(29)，用于对参考光和测试光分别进行分束，获得两对参考光和测试光；

载频环路系统(30)，用于对某一对参考光和测试光附加载频；所述载频环路系统(30)包括沿第一分束镜(12)透射光方向设置的第二偏振分束镜(16)，以及以第二偏振分束镜(16)为参考点，顺时针依次设置的第四反射镜(17)、第五反射镜(18)、第六反射镜(19)，三个反射镜与第二偏振分束镜(16)形成环形光路；其中第四反射镜(17)、第六反射镜(19)固定，第五反射镜(18)可调；

测试环路系统(31)，用于实现另一对参考光和测试光至成像系统的光程与所述某一对参考光和测试光经载频环路系统(30)至成像系统的光程相同；

成像系统(32)，用于获取干涉信息，并对被测件成像。

2.根据权利要求1所述的动态相位变形干涉测量装置，其特征在于，所述泰曼-格林式干涉测量系统(26)包括沿光轴依次设置的激光器(1)、1/2波片(2)、第一扩束镜(3)、扩束光阑(4)、第二扩束镜(5)、第一偏振分束镜(6)；

所述参考光路(27)包括沿第一偏振分束镜(6)反射光方向依次设置的第一1/4波片(7)、参考镜(8)；

所述测试光路(28)包括沿第一偏振分束镜(6)透射光方向依次设置的第二1/4波片(9)、发散器(10)、被测件(11)；

所述分光系统(29)包括位于与参考光路(27)关于第一偏振分束镜(6)相对一侧设置的第一分束镜(12)；

所述分光系统(29)还包括位于沿第一分束镜(12)反射光方向且与第二偏振分束镜(16)同轴设置的第二分束镜(20)；

所述测试环路系统(31)包括沿第一分束镜(12)反射光方向设置的第一反射镜(13)，以及以第一反射镜(13)为参考点，顺时针依次设置的第二反射镜(14)、第三反射镜(15)，第一分束镜(12)反射光经该三个反射镜后入射至第二分束镜(20)；

所述成像系统(32)包括沿第二分束镜(20)反射光方向依次设置的偏振片(21)、第一成像物镜(22)、成像光阑(23)、第二成像物镜(24)、面阵探测器(25)。

3.根据权利要求2所述的动态相位变形干涉测量装置，其特征在于，所述第四反射镜(17)、第六反射镜(19)均与第二偏振分束镜(16)的反射面平行。

4.根据权利要求3所述的动态相位变形干涉测量装置，其特征在于，所述发散器(10)的焦点与被测件(11)的焦点重合。

5.根据权利要求4所述的动态相位变形干涉测量装置，其特征在于，所述偏振片(21)与光轴的夹角为45°。

6.根据权利要求5所述的动态相位变形干涉测量装置，其特征在于，所述第一成像物镜(22)和第二成像物镜(24)的焦点重合，并且第一成像物镜(22)的焦距为第二成像物镜(24)焦距的两倍。

7.根据权利要求6所述的动态相位变形干涉测量装置，其特征在于，所述面阵探测器(25)位于被测件(11)经发散器(10)、成像系统(32)所成像的位置。