[发明专利]一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置有效
| 申请号： | 201910287022.3 | 申请日： | 2019-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN109932782B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 代俊;李凯权;吴娇娇;常辉;熊壮;谢晋;隋丽;石庚辰 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 电热 驱动 式微 moems 开关 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置，包括输入光纤（1）、输出光纤（2）、可动式微镜（3）、电热保险机构（4）和电热驱动机构（5），其中，输入光纤（1）和输出光纤（2）为固定式光纤，可动式微镜（3）属于可动部件，输入光纤（1）和输出光纤（2）处于基片上的槽内，可动式微镜（3）上设计有保险槽（6）、定位槽（7）和驱动槽（8），输入光纤（1）和输出光纤（2）分别与光发射单元和光接收单元相连接，固定式光纤和可动式微镜（3）组成光反射回路，其特征在于：所述可动式微镜（3）上分布着排列规则的小孔且通过硅弹簧梁与硅片的上层结构相连接，所述可动式微镜（3）、电热保险机构（4）和电热驱动机构（5）包含金属薄膜层和结构层。
2.按照权利要求1所述的一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置，其特征在于：所述可动式微镜（3）、电热保险机构（4）和电热驱动机构（5）的金属薄膜层材料为Au(金)并通过Cr（铬）材料实现金属薄膜层与结构层的连接。
3.按照权利要求1或2所述的一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置，其特征在于：所述电热保险机构（4）和电热驱动机构（5）采用对称V型悬臂梁结构。
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