[发明专利]一种厚度检测设备和方法

权利要求书

1.一种厚度检测设备，其特征在于，所述厚度检测设备包括输送装置和至少一组厚度检测组件，每组厚度检测组件包括校验量块、驱动装置、处理器以及两组光线发射器和光线接收器，其中：

所述输送装置向检测区域输送被测物体；

对于每组厚度检测组件，所述校验量块安装在所述驱动装置上，所述驱动装置带动所述校验量块运动至所述检测区域中与所述厚度检测组件对应的检测位置，或带动所述校验量块从所述检测位置离开；

每组的光线发射器向所述检测位置处的被测物体发射光线，每组的光线接收器接收同组的光线发射器发射的且被所述被检物体反射的光线；

每组的光线接收器将接收到的光线信息发送到所述处理器，所述处理器根据两组光线信息以及所述校验量块的厚度计算所述被测物体在所述检测位置处的厚度。

2.如权利要求1所述的厚度检测设备，其特征在于，所述两组光线发射器和光线接收器中的一组光线发射器和光线接收器位于所述被测物体的上方，另一组光线发射器和光线接收器位于所述被测物体的下方。

3.如权利要求2所述的厚度检测设备，其特征在于，每组厚度检测组件中的两个光线发射器相对所述被测物体对称设置，每组厚度检测组件中的两个光线接收器相对所述被测物体对称设置。

4.如权利要求1所述的厚度检测设备，其特征在于，所述光线发射器为激光发射器，所述光线发射器发射的光线与所述被测物体表面之间的夹角为锐角或直角。

5.如权利要求1所述的厚度检测设备，其特征在于，所述校验量块的厚度为所述被测物体厚度的80％-120％。

6.如权利要求1所述的厚度检测设备，其特征在于，所述驱动装置包括有气缸，所述气缸作为动力源驱动所述校验量块动作，所述气缸的活塞杆上安装有连接板，所述连接板上安装有调整块，所述校验量块安装在所述调整块上，所述调整块能够调整所述校验量块相对于所述连接板的位置。

7.如权利要求1所述的厚度检测设备，其特征在于，所述被测物体为硅片。

8.如权利要求1-7任一所述的厚度检测设备，其特征在于，所述厚度检测组件为三组，且相对所述被测物体均匀布设，每组厚度检测组件所对应的检测位置不同；

或者，

所述厚度检测组件为两组，且相对所述被测物体对称布设，每组厚度检测组件所对应的检测位置不同。

9.一种厚度检测方法，其特征在于，所述厚度检测方法包括：

向检测区域的检测位置输送校验量块，按照预定角度向所述校验量块的上面和下面分别发射第一组光线，分别接收所述校验量块上面和下面反射回的第二组光线；

向所述检测位置输送被测物体，按照所述预定角度向所述被测物体的上面和下面分别发射第三组光线，分别接收所述被测物体上面和下面反射回的第四组光线；

所述第一组光线和所述第三组光线的属性相同；

根据所述第二组光线对应的光线信息、所述第四组光线对应的光线信息、所述校验量块的厚度，计算所述被测物体在所述检测位置处的厚度。

10.根据权利要求9所述的厚度检测方法，其特征在于，根据所述第二组光线对应的光线信息、所述第四组光线对应的光线信息、所述校验量块的厚度，计算所述被测物体在所述检测位置处的厚度，包括：

根据所述第二组光线对应的光线信息，确定第一组坐标信息；

根据所述第四组光线对应的光线信息，确定第二组坐标信息；

根据所述第一组坐标信息和所述第二组坐标信息，确定所述校验量块的上面和下面与所述被测物体的上面和下面之间的位置关系；

根据校验量块的厚度，计算所述被测物体的厚度。