[发明专利]一种阵列基板缺陷判定方法、处理器及判定系统

说明书

本发明公开了一种阵列基板缺陷判定方法、处理器及判定系统，该方法包括：实时获取待判别阵列基板当前扫描区域的表面图像数据；对获取到的表面图像数据进行处理，确定阵列基板存在的缺陷与扫描时间的对应关系；根据缺陷与扫描时间的对应关系、预存储的扫描时间与扫描位置的对应关系以及预存储的缺陷类型规则，确定阵列基板中存在缺陷的类型。上述方法可以根据实时获取待判别阵列基板当前扫描区域的表面图像数据，确定阵列基板中存在缺陷的类型，无需工程师进行人为判定，节约了缺陷判定时间，根据判定结果可以及时对缺陷进行处理，避免大量的经济损失。

技术领域

本发明涉及缺陷判定领域，尤其涉及一种阵列基板缺陷判定方法、处理器及判定系统。

背景技术

目前，在阵列基板的制作过程中，由于工艺的稳定性以及外界环境的干扰等会导致阵列基板的膜层出现缺陷，因此在阵列基板制作完特定膜层后对阵列基板进行缺陷检测显得尤为重要。

相关技术中，对阵列基板的缺陷进行检测与判定，是通过自动光学检测(Automatic Optical Inspection，AOI)设备对阵列基板的缺陷进行检测，以图片的形式将阵列基板中的缺陷反应出来，由于AOI设备本身无法对缺陷是否造成良率损失进行判定，以致缺陷判定需在后段工艺由工程师进行人工判定，这极大的延缓了缺陷反馈的时间，极易由于缺陷反馈时间过长造成更大的良率及经济损失。

因此，如何有效的对阵列基板的缺陷进行判定是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明提供了一种阵列基板缺陷判定方法、处理器及判定系统，用以解决相关技术中需要人为进行缺陷判定导致缺陷反馈时间过长的问题。

一方面，本发明实施例提供了一种阵列基板缺陷判定方法，包括：

实时获取待判别阵列基板当前扫描区域的表面图像数据；

对获取到的所述表面图像数据进行处理，确定所述阵列基板存在的缺陷与扫描时间的对应关系；

根据所述缺陷与所述扫描时间的对应关系、预存储的所述扫描时间与扫描位置的对应关系以及预存储的缺陷类型规则，确定所述阵列基板中存在缺陷的类型。

在一种可能的实施方式中，在本发明实施例提供的阵列基板缺陷判定方法中，当获取的表面图像数据为一个图像采集器按预设周期获取的表面图像数据时，根据所述缺陷与所述扫描时间的对应关系、预存储的所述扫描时间与扫描位置的对应关系以及预存储的缺陷类型规则，确定所述阵列基板中存在缺陷的类型，具体包括：

当相邻奇数个周期或相邻偶数个周期内相同的时间段存在同样的缺陷聚集时，则确定所述阵列基板在与扫描方向垂直的方向存在聚集缺陷；

当在同一周期内所述缺陷存在的时长大于第一阈值时，则确定所述阵列基板在扫描方向上存在聚集缺陷。

在一种可能的实施方式中，在本发明实施例提供的阵列基板缺陷判定方法中，当获取的表面图像数据为多个图像采集器同时获取的表面图像数据时，根据所述缺陷与所述扫描时间的对应关系、预存储的所述扫描时间与扫描位置的对应关系以及预存储的缺陷类型规则，确定所述阵列基板中存在缺陷的类型，具体包括：

当各所述图像采集器所扫描的区域同时被确定存在缺陷时，则确定所述阵列基板在与扫描方向垂直的方向存在聚集缺陷；

当各所述图像采集器所扫描的区域逐个被确定存在缺陷聚集时，则确定所述阵列基板在与扫描方向存在夹角方向存在聚集缺陷；

当所述图像采集器所扫描区域存在缺陷的连续时长大于第一阈值时，则确定所述阵列基板在扫描方向上存在聚集缺陷。

在一种可能的实施方式中，在本发明实施例提供的阵列基板缺陷判定方法中，当所述阵列基板在同一区域内存在任两个方向上的聚集缺陷时，则确定所述阵列基板存在簇状缺陷。