[发明专利]微流控芯片及其驱动方法有效
申请号: | 201910289497.6 | 申请日: | 2019-04-11 |
公开(公告)号: | CN110270386B | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 李金玉;秦锋;刘金娥;李小和;席克瑞;林柏全 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
地址: | 201201 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微流控 芯片 及其 驱动 方法 | ||
1.一种微流控芯片,其特征在于,包括:衬底基板和位于所述衬底基板一侧的电极层;
所述电极层包括相互绝缘的第一电极和第二电极;
至少一个液滴分流单元,所述液滴分流单元至少包括一个所述第一电极、两个所述第二电极和一个第一分隔部;
所述第一分隔部和所述电极层位于所述衬底基板的同一侧,在垂直于所述衬底基板所在平面的方向上,所述第一分隔部的高度大于所述第一电极的高度,且其大于所述第二电极的高度;
同一所述液滴分流单元中,两个所述第二电极排列于所述第一电极的同一侧,所述第一分隔部位于两个所述第二电极之间,以所述第二电极的排列方向为第一方向。
2.根据权利要求1所述的微流控芯片,其特征在于,
所述第一电极在所述衬底基板所在平面的垂直投影为轴对称图形,所述第一分隔部在所述衬底基板所在平面的垂直投影为轴对称图形,且两者的对称轴相同;
两个所述第二电极的形状和大小相同,两个所述第二电极和所述第一电极之间的间距相同,且两个所述第二电极沿所述第一电极在所述衬底基板所在平面的垂直投影图案的对称轴对称设置。
3.根据权利要求1所述的微流控芯片,其特征在于,
同一所述液滴分流单元中,在垂直于所述衬底基板所在平面的方向上,所述第一分隔部与所述第一电极相交叠。
4.根据权利要求1所述的微流控芯片,其特征在于,
同一所述液滴分流单元中,在所述第一方向上,所述第一分隔部的宽度大于两个所述第二电极之间的间隙的宽度,且在垂直于所述衬底基板所在平面的方向上,所述第一分隔部与两个所述第二电极均相交叠。
5.根据权利要求1所述的微流控芯片,其特征在于,
所述液滴分流单元还包括外围分隔部,所述外围分隔部与所述第一分隔部同层设置,在垂直于所述衬底基板所在平面的方向上,所述外围分隔部的高度大于所述第一电极的高度,且其大于所述第二电极的高度;
所述外围分隔部包括第一侧壁、沿所述第一方向相对设置于所述第一侧壁两端的第二侧壁和第三侧壁,所述第一侧壁位于所述第一电极远离所述第二电极的一侧,所述第二侧壁和第三侧壁沿所述第一方向相对设置于所述液滴分流单元的两侧;
所述第一电极位于所述第一侧壁、所述第二侧壁和所述第三侧壁之间,两个所述第二电极分别位于所述第二侧壁与所述第一分隔部之间、所述第三侧壁与所述第一分隔部之间。
6.根据权利要求5所述的微流控芯片,其特征在于,
同一所述液滴分流单元中,在所述第一方向上,所述第二侧壁和所述第三侧壁之间的距离为Wa,所述第二侧壁和所述第一分隔部之间的距离为Wb1,所述第三侧壁和所述第一分隔部之间的距离为Wb2;其中,
Wa>Wb1+Wb2,Wb1=Wb2>0。
7.根据权利要求5所述的微流控芯片,其特征在于,
同一所述液滴分流单元中,在垂直于所述衬底基板所在平面的方向上,所述外围分隔部与所述第一电极、所述第二电极均相交叠。
8.根据权利要求5所述的微流控芯片,其特征在于,
所述电极层还包括第三电极,所述第三电极与所述第一电极、所述第二电极相互绝缘,所述第三电极在所述衬底基板所在平面的垂直投影位于所述第一分隔部和/或所述外围分隔部在所述衬底基板所在平面的垂直投影内。
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