[发明专利]一种微纳米级步进式压电驱动装置有效
| 申请号： | 201910291891.3 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN110768570B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 李建平;万嫩;郁晨;温建明 | 申请（专利权）人： | 浙江师范大学 |
| 主分类号： | H02N2/02 | 分类号： | H02N2/02;H02N2/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321004 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 步进 压电 驱动 装置 | ||
1.一种微纳米级步进式压电驱动装置，包括压电叠堆(3)、非对称薄壁式柔性铰链机构(4)、动子(5)、预紧楔块(2)、预紧旋钮(1)、预紧旋钮(7)、底座(6)，其特征在于：所述的压电叠堆(3)设置在非对称薄壁式柔性铰链机构(4)内，驱动压电叠堆(3)驱动非对称薄壁式柔性铰链机构(4)伸长，通过控制驱动压电叠堆(3)实现非对称薄壁式柔性铰链机构(4)和动子(5)之间的步进式运动，进而驱动动子(5)的直线精密运动；动子(5)采用带有滑块的高精度直线导轨，导轨通过螺钉固定在底座上，用以实现高精度的直线运动；非对称薄壁式柔性铰链机构(4)通过螺钉安装在底座上；压电叠堆(3)可通过预紧楔块(2)进行预紧；预紧旋钮(1)和预紧旋钮(7)可调节非对称薄壁式柔性铰链机构(4)与动子(5)之间的初始预紧力。
2.根据权利要求1所述的微纳米级步进式压电驱动装置，其特征在于采用非对称薄壁式柔性铰链机构(4)的寄生惯性驱动原理，压电叠堆(3)得电时推动非对称薄壁式柔性铰链机构(4)产生两个方向的复合运动，即主运动和寄生运动，主运动为动子(5)的直线运动，寄生运动为非对称薄壁式柔性铰链机构(4)给动子(5)施加预紧力。
3.根据权利要求1所述的微纳米级步进式压电驱动装置，其特征在于设计的非对称薄壁式柔性铰链机构(4)与动子(5)压紧部分为弧形结构。
4.根据权利要求1所述的微纳米级步进式压电驱动装置，其特征在于动子(5)采用滚珠直线导轨、滚柱直线导轨、V型槽直线导轨、燕尾槽直线导轨。
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