[发明专利]生成等离子体的方法

说明书

本发明提供一种生成等离子体的方法，能够快速抑制高频电力的反射。在一个实施方式的方法中，从高频电源经由匹配器向电极供给高频电力，以在腔室中生成等离子体。在供给高频电力的期间，根据反映腔室内的等离子体的产生的一个以上的参数来判定在腔室内是否生成了等离子体。在判定为没有生成等离子体的情况下，调整由高频电源输出的高频电力的频率，以将高频电源的负载侧电的抗设定为零或者使该负载侧的电抗接近零。

技术领域

本公开的实施方式涉及一种生成等离子体的方法。

背景技术

在电子器件的制造中使用等离子体处理装置。等离子体处理装置具备腔室、电极、高频电源以及匹配器。从高频电源向电极提供高频电力，以激励腔室内的气体来生成等离子体。匹配器构成为使高频电源的负载侧的阻抗与高频电源的输出阻抗匹配。

作为匹配器，通常使用机械控制式的匹配器。机械控制式的匹配器具有由马达进行驱动来变更其静电容量的电容器。机械控制式的匹配器的阻抗的控制速度受到马达对电容器的静电容量的控制速度的限制。

作为其它的匹配器，已知电子控制式的匹配器。电子控制式的匹配器具有多个第一串联电路和多个第二串联电路。多个第一串联电路彼此并联连接。多个第二串联电路彼此并联连接。在多个第一串联电路和多个第二串联电路的各串联电路中，电容器与开关元件串联连接。关于电子控制式的匹配器，能够通过对多个第一串联电路的各个第一串联电路的开关元件和多个第二串联电路的各个第二串联电路的开关元件进行电子控制来变更阻抗。因而，电子控制式的匹配器的阻抗的控制速度高。关于电子控制式的匹配器，在专利文献1中有所记载。

专利文献1：日本专利第5578374号说明书

发明内容

发明要解决的问题

在具备电子控制式的匹配器的等离子体处理装置中，有时即使向电极供给高频电力也不生成等离子体。在没有生成等离子体时，高频电力没有被充分利用于等离子体的生成，而是被反射。因而，在发生了没有生成等离子体的现象的情况下，需要在短时间内抑制高频电力的反射。

用于解决问题的方案

在一个方式中，提供一种在等离子体处理装置的腔室内生成等离子体的方法。等离子体处理装置具备腔室、高频电源、电极以及匹配器。电极与高频电源电连接，以在腔室内生成等离子体。匹配器设置在高频电源与电极之间，以使高频电源的负载侧的阻抗与高频电源的输出阻抗匹配。匹配器具有多个第一串联电路和多个第二串联电路。多个第一串联电路彼此并联连接。多个第二串联电路彼此并联连接。多个第一串联电路和多个第二串联电路的各串联电路分别包括电容器和开关元件。在多个第一串联电路和多个第二串联电路的各串联电路中，电容器与开关元件串联连接。

一个方式所涉及的方法包括以下工序，以在腔室中生成等离子体，所述工序包括：(i)从高频电源经由匹配器向电极供给高频电力；(ii)在供给高频电力的工序的执行期间，根据反映腔室内的等离子体的产生的一个以上的参数来判定在腔室内是否生成了等离子体；以及(iii)利用匹配器使负载侧的阻抗与高频电源的输出阻抗匹配。在进行判定的工序中判定为在腔室内没有生成等离子体的情况下，执行以下工序：调整由高频电源输出的高频电力的频率，以将高频电源的负载侧的电抗设定为零或者使该负载侧的电抗接近零。

在一个方式所涉及的方法中，在发生了没有生成等离子体的现象的情况下，调整高频电源所产生的高频电力的频率，以将高频电源的负载侧的电抗设定为零或者使该负载侧的电抗接近零。高频电源能够快速调整高频电力的频率。因而，在发生了没有生成等离子体的现象的情况下，在短时间内抑制高频电力的反射。

在一个实施方式中，方法还包括以下工序：在执行调整高频电力的频率的工序之后，在根据一个以上的参数判定为在腔室内没有生成等离子体的情况下，变更由高频电源输出的高频电力的频率，以决定使腔室内产生等离子体的高频电力的频率。